νλ©΄ 곡νμ μΈκ³λ₯Ό ννν΄ λ³΄μΈμ: μ μΈκ³ λ€μν μ°μ μμμ κΈ°μ , μμ© λ° μ΄μ . νλ©΄ κ°μ§μ΄ μ¬λ£μ μ±λ₯μ ν₯μμν€κ³ μλͺ μ μ°μ₯νλ λ°©λ²μ μμ보μΈμ.
νλ©΄ 곡ν: κΈλ‘λ² λ―Έλλ₯Ό μν μ¬λ£ κ°ν
νλ©΄ 곡νμ μ¬λ£μ νλ©΄μ μμ νμ¬ κ·Έ νΉμ±κ³Ό μ±λ₯μ ν₯μμν€λ λ€νμ μ λΆμΌμ λλ€. ν곡μ°μ£Ό λ° μλμ°¨λΆν° μ체 μν λ° μ μ‘°μ μ μ΄λ₯΄κΈ°κΉμ§ μ μΈκ³ λ€μν μ°μ μμ μ€μν μν μ ν©λλ€. μ¬λ£μ νλ©΄ νΉμ±μ λ§μΆ€μΌλ‘μ¨ λ΄λ§λͺ¨μ±, λΆμ λ°©μ§, μ체 μ ν©μ± λ° κΈ°ν νμ μμ±μ κ°μ νμ¬ κΆκ·Ήμ μΌλ‘ μλͺ μ°μ₯, ν¨μ¨μ± μ¦λ, λΉμ© μ κ°μΌλ‘ μ΄μ΄μ§ μ μμ΅λλ€.
νλ©΄ 곡νμ΄λ 무μμΈκ°?
νλ©΄ 곡νμ μ¬λ£ νλ©΄μ ννμ , 물리μ , κΈ°κ³μ λλ μ κΈ°μ νΉμ±μ λ³κ²½νλ κ²μ λͺ©νλ‘ νλ κ΄λ²μν κΈ°μ μ ν¬ν¨ν©λλ€. μ΄λ¬ν κΈ°μ μλ μ½ν μΆκ°, κΈ°μ‘΄ νλ©΄μΈ΅ μμ λλ μμ ν μλ‘μ΄ νλ©΄ ꡬ쑰 μμ±μ΄ ν¬ν¨λ μ μμ΅λλ€. μ£Όμ λͺ©νλ λ²ν¬ μ¬λ£μ λΉν΄ μ°μν νΉμ±μ λνλ΄λ νλ©΄μ λ§λ€μ΄ νΉμ μμ© λΆμΌμ λν μ±λ₯μ μ΅μ ννλ κ²μ λλ€.
μ 체 μ¬λ£ λΆνΌμ μν₯μ λ―ΈμΉλ λ²ν¬ μ¬λ£ μ²λ¦¬μ λ¬λ¦¬, νλ©΄ 곡νμ μΌλ°μ μΌλ‘ μ λλ Έλ―Έν°μμ μ λ°λ¦¬λ―Έν° λκ» λ²μμ κ°μ₯ λ°κΉ₯μͺ½ μΈ΅μλ§ μ§μ€ν©λλ€. μ΄λ¬ν κ΅μμ μΈ μ κ·Ό λ°©μμ ν΅ν΄ μμ§λμ΄λ κΈ°λ³Έ μ¬λ£μ ν΅μ¬ νΉμ±μ ν¬κ² λ³κ²½νμ§ μκ³ νλ©΄ νΉμ±μ μ‘°μ ν μ μμ΄ μ¬λ£ μ±λ₯μ ν₯μμν€λ λΉμ© ν¨μ¨μ μ΄κ³ λ€μ¬λ€λ₯ν μ루μ μ΄ λ©λλ€.
νλ©΄ 곡νμ μ μ€μνκ°?
νλ©΄ 곡νμ μ€μμ±μ μ¬λ£μ νλ©΄μ΄ μ’ μ’ νκ²½κ³Όμ 첫 λ²μ§Έ μ μ΄μ μ΄λΌλ μ¬μ€μμ λΉλ‘―λ©λλ€. μ΄ κ²½κ³λ©΄μμ λ§λͺ¨, λΆμ, λ§μ°°, μ μ°©κ³Ό κ°μ μνΈ μμ©μ΄ λ°μν©λλ€. νλ©΄μ μμ ν¨μΌλ‘μ¨ μ΄λ¬ν μνΈ μμ©μ μ μ΄νκ³ μ¬λ£μ μ λ°μ μΈ μ±λ₯κ³Ό λ΄κ΅¬μ±μ ν₯μμν¬ μ μμ΅λλ€.
νλ©΄ 곡νμ΄ μ 곡νλ λ€μκ³Ό κ°μ μ΄μ μ κ³ λ €ν΄ λ³΄μμμ€:
- λ΄λ§λͺ¨μ± ν₯μ: μ§ν ν°νλ(TiN) λλ λ€μ΄μλͺ¬λ μ μ¬ μΉ΄λ³Έ(DLC)κ³Ό κ°μ κ²½μ§ μ½ν μ μ μ©νλ©΄ κΈ°μ΄, λ² μ΄λ§, μ μ 곡ꡬμ κ°μ΄ λ§μ°°μ λ ΈμΆλλ λΆνμ λ§λͺ¨λ₯Ό ν¬κ² μ€μΌ μ μμ΅λλ€.
- λΆμ λ°©μ§ κ°ν: μλ Έλ€μ΄μ§μ΄λ λκΈκ³Ό κ°μ νλ©΄ μ²λ¦¬λ νΉλ ν νκ²½μμ λΆμμ λ°©μ§νλ 보νΈμΈ΅μ μμ±νμ¬ ν΄μ λλ μ°μ νκ²½μμ κΈμ ꡬ쑰물 λ° λΆνμ μλͺ μ μ°μ₯ν©λλ€.
- λ§μ°° κ°μ: μ λ§μ°° μ½ν μ μ μ©νλ©΄ κΈ°κ³ μμ€ν μ μλμ§ μμ€μ μ΅μννκ³ ν¨μ¨μ±μ ν₯μμμΌ μ°¨λμ μ°λΉλ₯Ό μ€μ΄κ³ μ¬λΌμ΄λ© λΆνμ μ±λ₯μ ν₯μμν¬ μ μμ΅λλ€.
- μ체 μ ν©μ± μ¦λ: νλ©΄ κ°μ§μ μλ£μ© μνλνΈμ μ체 μ ν©μ±μ ν₯μμμΌ μ£Όλ³ μ‘°μ§κ³Όμ μΈν¬ λΆμ°© λ° ν΅ν©μ μ΄μ§νκ³ , μ΄λ₯Ό ν΅ν΄ μΉμ λ₯Ό κ°μ νκ³ κ±°λΆ λ°μμ μ€μ λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, ν°νλ μνλνΈλ μ’ μ’ κ³¨μ ν©μ κ°μ νκΈ° μν΄ μμ°νμΈνμ μ½ν μΌλ‘ μ²λ¦¬λ©λλ€.
- κ΄νμ νΉμ± ν₯μ: λ°λ§μ νλ©΄μ μ μ©νμ¬ λ°μ¬μ¨, ν¬κ³Όμ¨ λλ ν‘μμ¨μ μ μ΄ν¨μΌλ‘μ¨ κ΄ν μ₯μΉ, νμ μ μ§ λ° λμ€νλ μ΄μ μ±λ₯μ ν₯μμν¬ μ μμ΅λλ€.
- μ μ°©λ ₯ ν₯μ: νλ©΄ μ²λ¦¬λ μ½ν λ° μ μ°©μ μ μ μ°©λ ₯μ ν₯μμμΌ ν곡μ°μ£Ό λ° μλμ°¨ μ μ‘°μ νμμ μΈ μλ‘ λ€λ₯Έ μ¬λ£ κ°μ κ°λ ₯νκ³ λ΄κ΅¬μ± μλ κ²°ν©μ 보μ₯ν©λλ€.
μΌλ°μ μΈ νλ©΄ 곡ν κΈ°μ
λ€μν νλ©΄ 곡ν κΈ°μ μ΄ μμΌλ©°, κ°κ° νΉμ μμ© λΆμΌ λ° μ¬λ£μ λ°λΌ κ³ μ ν μ₯λ¨μ μ μ 곡ν©λλ€. κ°μ₯ μΌλ°μ μΈ κΈ°μ μ€ μΌλΆλ λ€μκ³Ό κ°μ΅λλ€:
μ½ν κΈ°μ
μ½ν κΈ°μ μ κΈ°ν νλ©΄μ λ€λ₯Έ μ¬λ£μ μμ μΈ΅μ μ μ©νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μ΄ μΈ΅μ μνλ νΉμ±μ λ°λΌ κΈμ, μΈλΌλ―Ή, ν΄λ¦¬λ¨Έ λλ λ³΅ν© μ¬λ£κ° λ μ μμ΅λλ€.
- 물리 κΈ°μ μ¦μ°©(PVD): PVD κΈ°μ μ μ§κ³΅ νκ²½μμ μ½ν μ¬λ£λ₯Ό κΈ°νμμΌ κΈ°νμ μ¦μ°©νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μΌλ°μ μΈ PVD λ°©λ²μλ μ€νΌν°λ§, μ¦λ° λ° μ΄μ¨ νλ μ΄ν μ΄ μμ΅λλ€. PVD μ½ν μ λμ κ²½λ, λ΄λ§λͺ¨μ± λ° λΆμ λ°©μ§ κΈ°λ₯μΌλ‘ μ λͺ ν©λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, PVDλ‘ μ μ©λ TiN μ½ν μ μ μ 곡ꡬμ μλͺ μ μ°μ₯νκ³ μ±λ₯μ ν₯μμν€κΈ° μν΄ λ리 μ¬μ©λ©λλ€.
- νν κΈ°μ μ¦μ°©(CVD): CVD κΈ°μ μ κ³ μ¨μμ κΈ°ν νλ©΄μ 기체 μ ꡬ체λ₯Ό λ°μμμΌ κ³ μ²΄ μ½ν μ νμ±νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. CVD μ½ν μ μ°μν νμ μ ν©μ±κ³Ό 볡μ‘ν λͺ¨μμ μ½ν νλ λ₯λ ₯μΌλ‘ μ λͺ ν©λλ€. CVDλ μ μ μμ© λΆμΌλ₯Ό μν μ§ν κ·μ(Si3N4) μ½ν κ³Ό μ μ 곡ꡬλ₯Ό μν λ€μ΄μλͺ¬λ μ½ν μ μ¦μ°©νλ λ° μΌλ°μ μΌλ‘ μ¬μ©λ©λλ€.
- μ΄ μ©μ¬: μ΄ μ©μ¬ κΈ°μ μ μ½ν μ¬λ£λ₯Ό λ Ήμ¬ κ³ μ κ°μ€ μ€νΈλ¦Όμ μ¬μ©νμ¬ κΈ°νμ λΆμ¬νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μΌλ°μ μΈ μ΄ μ©μ¬ λ°©λ²μλ νλΌμ¦λ§ μ©μ¬, νμΌ μ©μ¬ λ° κ³ μ μ°μ μ°λ£(HVOF) μ©μ¬κ° μμ΅λλ€. μ΄ μ©μ¬ μ½ν μ λΆμ λ°©μ§, λ΄λ§λͺ¨μ± λ° μ΄ μ°¨λ¨ μμ© λΆμΌμ λ리 μ¬μ©λ©λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, HVOFλ‘ μ©μ¬λ WC-Co μ½ν μ ν곡기 λλ© κΈ°μ΄μ λ΄λ§λͺ¨μ±μ μν΄ μ¬μ©λ©λλ€.
- μ κΈ° λκΈ: μ κΈ° λκΈμ μ κΈ° ννμ 곡μ μ μ¬μ©νμ¬ μ λμ± κΈ°νμ μμ κΈμ μΈ΅μ μ¦μ°©νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μ κΈ° λκΈμ λΆμ λ°©μ§, μ₯μ λ§κ° λ° μ κΈ° μ λμ± ν₯μμ μν΄ λ리 μ¬μ©λ©λλ€. μΌλ°μ μΈ μ κΈ° λκΈ κΈμμλ ν¬λ‘¬, λμΌ, ꡬ리 λ° κΈμ΄ ν¬ν¨λ©λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, ν¬λ‘¬ λκΈμ μλμ°¨ λΆνμ λΆμ λ°©μ§ λ° λ―Έμ λ§€λ ₯μ μν΄ μ¬μ©λ©λλ€.
- μ‘Έ-κ² μ½ν : μ‘Έ-κ² μ½ν μ λ°λ§ λ° μ½ν μ μμ°νλ λ° μ¬μ©λλ μ΅μ νν κΈ°μ μ λλ€. μ΄λ μ‘Έ(κ³ μ²΄ μ μμ μ½λ‘μ΄λ ννμ‘)μ νμ±κ³Ό κ·Έ νμ κ²νλ₯Ό ν΅ν΄ κΈ°νμ κ³ μ²΄ λ€νΈμν¬λ₯Ό νμ±νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μ‘Έ-κ² μ½ν μ λΆμ λ°©μ§, κ΄ν μ½ν λ° μΌμλ₯Ό ν¬ν¨ν λ€μν μμ© λΆμΌμ μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€.
νλ©΄ κ°μ§ κΈ°μ
νλ©΄ κ°μ§ κΈ°μ μ λ³λμ μ½ν μ μΆκ°νμ§ μκ³ κΈ°μ‘΄ μ¬λ£μ νλ©΄μΈ΅μ λ³κ²½νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μ΄λ¬ν κΈ°μ μ νλ©΄ κ²½λ, λ΄λ§λͺ¨μ± λ° λΆμ λ°©μ§λ₯Ό ν₯μμν¬ μ μμ΅λλ€.
- μ΄μ¨ μ£Όμ : μ΄μ¨ μ£Όμ μ κΈ°ν νλ©΄μ κ³ μλμ§ μ΄μ¨μ μΆ©λμμΌ μ¬λ£μ μΉ¨ν¬νμ¬ κ·Έ μ‘°μ±κ³Ό νΉμ±μ μμ νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μ΄μ¨ μ£Όμ μ κΈμ λ° λ°λ체μ λ΄λ§λͺ¨μ±κ³Ό λΆμ λ°©μ§λ₯Ό ν₯μμν€λ λ° μΌλ°μ μΌλ‘ μ¬μ©λ©λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, μ§μ μ΄μ¨ μ£Όμ μ μ€ν μΈλ¦¬μ€κ° λΆνμ νλ©΄μ κ²½νμν€λ λ° μ¬μ©λ©λλ€.
- λ μ΄μ νλ©΄ μ²λ¦¬: λ μ΄μ νλ©΄ μ²λ¦¬λ λ μ΄μ λΉμ μ¬μ©νμ¬ μ¬λ£μ νλ©΄μ μμ νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. λ μ΄μ νλ©΄ μ²λ¦¬λ νλ©΄ κ²½ν, νλ©΄ ν©κΈν λ° νλ©΄ ν΄λλ©μ ν¬ν¨ν λ€μν μμ© λΆμΌμ μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€. λ μ΄μ κ²½νλ κΈ°μ΄ λ° κΈ°ν κΈ°κ³ λΆνμ λ΄λ§λͺ¨μ±μ ν₯μμν€λ λ° μ¬μ©λ©λλ€.
- μ΄μ²λ¦¬: μ΄μ²λ¦¬λ μ¬λ£λ₯Ό κ°μ΄νκ³ λκ°νμ¬ λ―ΈμΈ κ΅¬μ‘°μ νΉμ±μ λ³κ²½νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μΉ¨ν λ° μ§νμ κ°μ νλ©΄ μ΄μ²λ¦¬ κΈ°μ μ κ°μ² λΆνμ νλ©΄ κ²½λμ λ΄λ§λͺ¨μ±μ ν₯μμν€λ λ° μ¬μ©λ©λλ€.
- μΌνΈ νΌλ: μΌνΈ νΌλμ κ°μ² μμ΄λ μ 리 ꡬμ¬κ³Ό κ°μ μμ ꡬν λ§€μ²΄λ‘ μ¬λ£μ νλ©΄μ μΆ©λμν€λ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μΌνΈ νΌλμ νλ©΄μ μμΆ μλ₯ μλ ₯μ μ λνμ¬ μ¬λ£μ νΌλ‘ μ νμ±κ³Ό λ΄λ§λͺ¨μ±μ ν₯μμν¬ μ μμ΅λλ€. μΌνΈ νΌλμ ν곡μ°μ£Ό λ° μλμ°¨ μ°μ μμ λ리 μ¬μ©λ©λλ€.
λ°λ§ μ¦μ°© κΈ°μ
λ°λ§ μ¦μ°© κΈ°μ μ κΈ°ν μμ νΉμ νΉμ±μ κ°μ§ μμ μ¬λ£ μΈ΅μ λ§λλ λ° μ¬μ©λ©λλ€. μ΄ νλ¦μ λ§μ΄ν¬λ‘μΌλ νΈλ‘λμ€, κ΄ν λ° μΌμλ₯Ό ν¬ν¨ν λ€μν μμ© λΆμΌμ μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€.
- μ€νΌν°λ§: μ€νΌν°λ§μ νκ² λ¬Όμ§μ μ΄μ¨μ μΆ©λμμΌ νκ²μμ μμκ° λ°©μΆλμ΄ κΈ°νμ μ¦μ°©λλλ‘ νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μ€νΌν°λ§μ κΈμ, μΈλΌλ―Ή λ° ν΄λ¦¬λ¨Έλ₯Ό ν¬ν¨ν κ΄λ²μν μ¬λ£λ₯Ό μ¦μ°©νλ λ° μ¬μ©ν μ μλ λ€μ¬λ€λ₯ν κΈ°μ μ λλ€.
- μ¦λ°: μ¦λ°μ μ§κ³΅ νκ²½μμ μ¬λ£λ₯Ό μ¦λ°ν λκΉμ§ κ°μ΄ν λ€μ κ·Έ μ¦κΈ°λ₯Ό κΈ°νμ μ¦μ°©νλ κ²μ ν¬ν¨ν©λλ€. μ¦λ°μ κΈμ λ° λ°λ체μ λ°λ§μ μ¦μ°©νλ λ° μΌλ°μ μΌλ‘ μ¬μ©λ©λλ€.
- λΆμμ μνΌνμ(MBE): MBEλ μμ μμ€μ μ λ°λλ‘ λ°λ§μ μμ±ν μ μλ κ³ λλ‘ μ μ΄λ μ¦μ°© κΈ°μ μ λλ€. MBEλ μ μ λ° κ΄ν μ₯μΉμ© λ°λ체 μ΄μ’ ꡬ쑰λ₯Ό μ±μ₯μν€λ λ° μΌλ°μ μΌλ‘ μ¬μ©λ©λλ€.
- μμμΈ΅ μ¦μ°©(ALD): ALDλ μμ°¨μ μκΈ° μ ν 기체-κ³ μ²΄ λ°μμ κΈ°λ°ν λ°λ§ μ¦μ°© κΈ°μ μ λλ€. ALDλ μ λ°ν λκ» μ μ΄κ° κ°λ₯ν λ§€μ° λ±λ°©μ±μΈ λ°λ§μ λ§λλ λ° μ¬μ©λ©λλ€.
νλ©΄ 곡νμ μμ© λΆμΌ
νλ©΄ 곡νμ λ€μν μ°μ λΆμΌμμ μμ©λλ©°, κ° λΆμΌλ κ·Έκ²μ΄ μ 곡νλ κ³ μ ν μ΄μ μ νμ©ν©λλ€. λͺ κ°μ§ μ£Όλͺ©ν λ§ν μλ λ€μκ³Ό κ°μ΅λλ€:
ν곡μ°μ£Ό μ°μ
ν곡μ°μ£Ό μ°μ μμ νλ©΄ 곡νμ ν곡기 λΆνμ μ±λ₯κ³Ό λ΄κ΅¬μ±μ ν₯μμν€λ λ° μ€μν©λλ€. μ½ν μ λΆμ, μΉ¨μ λ° λ§λͺ¨λ‘λΆν° 보νΈνλ λ° μ¬μ©λμ΄ ν°λΉ λΈλ μ΄λ, λλ© κΈ°μ΄ λ° λ체 ν¨λκ³Ό κ°μ μ€μν λΆνμ μλͺ μ μ°μ₯ν©λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, μ΄ μ°¨λ¨ μ½ν (TBC)μ ν°λΉ λΈλ μ΄λμ μ μ©λμ΄ κ·Ήνμ μ¨λλ₯Ό 견λκ² νμ¬ μμ§ ν¨μ¨μ λμ΄κ³ μ°λ£ μλΉλ₯Ό μ€μ λλ€. λ΄λ§λͺ¨μ± μ½ν μ μ°©λ₯ λ° μ΄λ₯ μ€ μμμ λ°©μ§νκΈ° μν΄ λλ© κΈ°μ΄ λΆνμ μ μ©λ©λλ€.
μλμ°¨ μ°μ
μλμ°¨ μ°μ μ μ°¨λμ μ±λ₯, λ―Έκ΄ λ° μλͺ μ ν₯μμν€κΈ° μν΄ νλ©΄ 곡νμ νμ©ν©λλ€. μ½ν μ λΆμ, λ§λͺ¨ λ° κΈνμΌλ‘λΆν° 보νΈνλ λ° μ¬μ©λμ΄ μ°¨μ²΄, μμ§ λΆν λ° λ΄λΆ νΈλ¦Όμ μΈκ΄κ³Ό λ΄κ΅¬μ±μ ν₯μμν΅λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, ν¬λ‘¬ λκΈμ λ²νΌμ νΈλ¦Όμ λΆμ λ°©μ§ λ° μ₯μ λ§κ°μ©μΌλ‘ μ¬μ©λ©λλ€. DLC μ½ν μ μμ§ λΆνμ μ μ©λμ΄ λ§μ°°κ³Ό λ§λͺ¨λ₯Ό μ€μ¬ μ°λΉλ₯Ό ν₯μμν΅λλ€.
μ체 μ곡ν
μ체 μ곡νμμ νλ©΄ 곡νμ μ체 μ ν©μ± μλ£μ© μνλνΈ λ° μ₯μΉλ₯Ό λ§λλ λ° νμμ μ λλ€. νλ©΄ κ°μ§μ μ¬λ£μ μ체 μ ν©μ±μ ν₯μμν€κ³ μ£Όλ³ μ‘°μ§κ³Όμ μΈν¬ λΆμ°© λ° ν΅ν©μ μ΄μ§νλ λ° μ¬μ©λ©λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, ν°νλ μνλνΈλ μ’ μ’ κ³¨μ ν©μ κ°μ νκΈ° μν΄ μμ°νμΈνμ μ½ν μΌλ‘ μ²λ¦¬λ©λλ€. νκ· μ½ν μ κ°μΌμ μλ°©νκΈ° μν΄ μΉ΄ν ν° λ° κΈ°ν μλ£ κΈ°κΈ°μ μ μ©λ©λλ€.
μ μ‘°μ
μ μ‘°μ μ μ μ 곡ꡬ, κΈν λ° λ€μ΄μ μ±λ₯κ³Ό μλͺ μ ν₯μμν€κΈ° μν΄ νλ©΄ 곡νμ νμ©ν©λλ€. κ²½μ§ μ½ν μ μ μ 곡ꡬμ μ μ©λμ΄ λ΄λ§λͺ¨μ±κ³Ό μ μ μλλ₯Ό λμ λλ€. λΉμ μ°©μ± μ½ν μ κΈν λ° λ€μ΄μ μ μ©λμ΄ λ¬λΌλΆμμ λ°©μ§νκ³ λΆν λΆλ¦¬λ₯Ό κ°μ ν©λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, TiN μ½ν μ λ릴 λΉνΈμ μλλ°μ μ¬μ©λμ΄ μλͺ μ μ°μ₯νκ³ μ μ μ±λ₯μ ν₯μμν΅λλ€. DLC μ½ν μ μ¬μΆ κΈνμ μ μ©λμ΄ λ§μ°°μ μ€μ΄κ³ λΆν λΆλ¦¬λ₯Ό κ°μ ν©λλ€.
μ μ μ°μ
μ μ μ°μ μμ νλ©΄ 곡νμ λ§μ΄ν¬λ‘μΌλ νΈλ‘λμ€ μ₯μΉ λ° λΆν μ μ‘°μ μ€μν μν μ ν©λλ€. λ°λ§μ νΈλμ§μ€ν°, 컀ν¨μν° λ° κΈ°ν νμ μ μ λΆνμ λ§λλ λ° μ¬μ©λ©λλ€. νλ©΄ ν¨μλ² μ΄μ κΈ°μ μ μ μ μ₯μΉμ μ±λ₯κ³Ό μ λ’°μ±μ ν₯μμν€λ λ° μ¬μ©λ©λλ€. μλ₯Ό λ€μ΄, μ΄μ°νκ·μ(SiO2) νλ¦μ MOSFETμ κ²μ΄νΈ μ μ μ²΄λ‘ μ¬μ©λ©λλ€. ν¨μλ² μ΄μ μΈ΅μ λ°λ체 μ₯μΉλ₯Ό μ€μΌκ³Ό λΆμμΌλ‘λΆν° 보νΈνλ λ° μ¬μ©λ©λλ€.
νλ©΄ 곡νμ λ―Έλ λν₯
νλ©΄ 곡ν λΆμΌλ λμμμ΄ μ§ννκ³ μμΌλ©°, μλ‘μ΄ κΈ°μ κ³Ό μμ© λΆμΌκ° μ κΈ°μ μΌλ‘ λ±μ₯νκ³ μμ΅λλ€. μ£Όμ λ―Έλ λν₯ μ€ μΌλΆλ λ€μκ³Ό κ°μ΅λλ€:
- λλ Έ κΈ°μ : λλ Έ λ¬Όμ§ λ° λλ Έ ꡬ쑰 μ½ν μ μ¬μ©νμ¬ μ λ‘ μλ νΉμ±μ κ°μ§ νλ©΄μ μμ±ν©λλ€. λλ Έ μ μλ μ½ν μ ν΅ν©λμ΄ κ²½λ, λ΄λ§λͺ¨μ± λ° λΆμ λ°©μ§ κΈ°λ₯μ ν₯μμν¬ μ μμ΅λλ€. λλ Έ ꡬ쑰 νλ©΄μ μ μμ±, μ μ°© λ° κ΄ν νΉμ±μ μ μ΄νκΈ° μν΄ μμ±λ μ μμ΅λλ€.
- μ μΈ΅ μ μ‘°: νλ©΄ 곡ν κΈ°μ μ μ μΈ΅ μ μ‘°(3D νλ¦°ν )μ ν΅ν©νμ¬ λ§μΆ€ν νλ©΄ νΉμ±μ κ°μ§ λΆνμ λ§λλλ€. μ΄λ₯Ό ν΅ν΄ νΉμ μμ© λΆμΌμ μ΅μ νλ νλ©΄ νΉμ±μ κ°μ§ 볡μ‘ν νμμ μμ±ν μ μμ΅λλ€.
- μ€λ§νΈ μ½ν : μ¨λ, μλ ₯ λλ pHμ κ°μ νκ²½ λ³νμ λ°μν μ μλ μ½ν μ κ°λ°ν©λλ€. μ΄λ¬ν μ½ν μ μκ° μΉμ μ½ν , μκ° μΈμ νλ©΄ λ° μΌμλ₯Ό ν¬ν¨ν λ€μν μμ© λΆμΌμ μ¬μ©λ μ μμ΅λλ€.
- μ§μ κ°λ₯ν νλ©΄ 곡ν: νκΈ°λ¬Ό, μλμ§ μλΉ λ° μ ν΄ λ¬Όμ§ μ¬μ©μ μ€μ΄λ νκ²½ μΉνμ μΈ νλ©΄ 곡ν κΈ°μ μ κ°λ°ν©λλ€. μ¬κΈ°μλ λ°μ΄μ€ κΈ°λ° μ½ν , μμ± μ½ν λ° μλμ§ ν¨μ¨μ μΈ μ¦μ°© 곡μ κ°λ°μ΄ ν¬ν¨λ©λλ€.
- λ°μ΄ν° κΈ°λ° νλ©΄ 곡ν: λ¨Έμ λ¬λκ³Ό μΈκ³΅ μ§λ₯μ μ¬μ©νμ¬ νλ©΄ 곡ν 곡μ μ μ΅μ ννκ³ μ½ν λ μ¬λ£μ μ±λ₯μ μμΈ‘ν©λλ€. μ΄λ λ³΄λ€ ν¨μ¨μ μ΄κ³ ν¨κ³Όμ μΈ νλ©΄ 곡ν μ루μ κ°λ°λ‘ μ΄μ΄μ§ μ μμ΅λλ€.
κ²°λ‘
νλ©΄ 곡νμ λ€μν μ°μ λΆμΌμμ μ¬λ£μ μ±λ₯κ³Ό λ΄κ΅¬μ±μ ν₯μμν€λ λ° μ€μν μν μ νλ νμμ μ΄κ³ λΉ λ₯΄κ² μ±μ₯νλ λΆμΌμ λλ€. μ¬λ£μ νλ©΄ νΉμ±μ λ§μΆ€μΌλ‘μ¨ λ΄λ§λͺ¨μ±, λΆμ λ°©μ§, μ체 μ ν©μ± λ° κΈ°ν νμ μμ±μ κ°μ νμ¬ μλͺ μ°μ₯, ν¨μ¨μ± μ¦λ λ° λΉμ© μ κ°μΌλ‘ μ΄μ΄μ§ μ μμ΅λλ€. κΈ°μ μ΄ κ³μ λ°μ ν¨μ λ°λΌ νλ©΄ 곡νμ μλ‘μ΄ νμ μ κ°λ₯νκ² νκ³ κΈλ‘λ² κ³Όμ λ₯Ό ν΄κ²°νλ λ° λμ± μ€μν΄μ§ κ²μ λλ€. ν곡μ°μ£Ό λ° μλμ°¨λΆν° μ체 μν λ° μ μμ μ΄λ₯΄κΈ°κΉμ§ νλ©΄ 곡νμ λ³΄λ€ μ§μ κ°λ₯νκ³ κΈ°μ μ μΌλ‘ μ§λ³΄λ λ―Έλλ₯Ό μν κΈΈμ λ¦κ³ μμ΅λλ€. μ°κ΅¬ κ°λ° λΆμΌμ κΈλ‘λ² νλ ₯μ μ μΈκ³μ μΌλ‘ μ μ© κ°λ₯ν νμ μ μΈ νλ©΄ 곡ν μ루μ μ μ‘μ±ν κ²μ λλ€.