์ ์ธ๊ณ ๋ค์ํ ์ฐ์ ์์ ํ๋ฉด ๋ฐ์ฌ๋ฅผ ์ ์ดํ๋ ๋ฐ ํ์์ ์ธ ๊ดํ ์ฝํ ์ ๊ณผํ๊ณผ ์์ฉ ๋ถ์ผ๋ฅผ ํ๊ตฌํด ๋ณด์ธ์. ๋ฌด๋ฐ์ฌ, ๊ณ ๋ฐ์ฌ ๋ฐ ํน์ ์ฝํ ์ ๋ํด ์์๋ณด์ธ์.
๊ดํ ์ฝํ : ๊ธ๋ก๋ฒ ์์ฉ์ ์ํ ํ๋ฉด ๋ฐ์ฌ ์ ์ด ๋ง์คํฐํ๊ธฐ
๊ดํ ์ฝํ ์ ๋ ์ฆ, ๊ฑฐ์ธ, ํํฐ์ ๊ฐ์ ๊ดํ ๋ถํ์ ์ ์ฉ๋์ด ๋ฐ์ฌ ๋ฐ ํฌ๊ณผ ํน์ฑ์ ๋ณ๊ฒฝํ๋ ์์ ์ฌ๋ฃ ์ธต์ ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ฝํ ์ ์๋น์ ์ ์์ ํ๋ถํฐ ๊ณผํ ๊ธฐ๊ธฐ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ์๋ง์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์์ ์ฑ๋ฅ, ํจ์จ์ฑ ๋ฐ ์ด๋ฏธ์ง ํ์ง์ ์ํฅ์ ๋ฏธ์น๋ฉฐ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค. ์ด ์ข ํฉ ๊ฐ์ด๋๋ ์ด ํ์ ๊ธฐ์ ์ ๋ํ ๊ธ๋ก๋ฒ ๊ด์ ์ ์ ๊ณตํ๋ฉฐ ๊ดํ ์ฝํ ์ ๊ณผํ, ์ ํ, ์์ฉ ๋ฐ ๋ฏธ๋ ๋ํฅ์ ํ๊ตฌํฉ๋๋ค.
ํ๋ฉด ๋ฐ์ฌ์ ์ดํด
๋น์ด ์๋ก ๋ค๋ฅธ ๊ตด์ ๋ฅ ์ ๊ฐ์ง ๋ ์ฌ๋ฃ ์ฌ์ด์ ๊ฒฝ๊ณ๋ฉด์ ๋ถ๋ชํ๋ฉด ๋น์ ์ผ๋ถ๋ ๋ฐ์ฌ๋๊ณ ๋๋จธ์ง๋ ํฌ๊ณผ๋ฉ๋๋ค. ๋ฐ์ฌ๋์ ์ ์ฌ๊ฐ, ์ฌ๋ฃ์ ๊ตด์ ๋ฅ ๋ฐ ๋น์ ํธ๊ด์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง๋๋ค. ํ๋ ๋ฌ ๋ฐฉ์ ์์ ์ด๋ฌํ ๊ด๊ณ๋ฅผ ์ํ์ ์ผ๋ก ์ค๋ช ํฉ๋๋ค.
์ ์ด๋์ง ์๋ ํ๋ฉด ๋ฐ์ฌ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ์ฌ๋ฌ ๋ฐ๋์งํ์ง ์์ ํจ๊ณผ๋ฅผ ์ ๋ฐํ ์ ์์ต๋๋ค.
- ํฌ๊ณผ์จ ๊ฐ์: ์๋ํ ๋ชฉ์ ์ง์ ๋๋ฌํ๋ ๋น์ด ์ค์ด๋ค์ด ํจ์จ์ฑ์ด ๊ฐ์ํฉ๋๋ค.
- ๊ณ ์คํธ ์ด๋ฏธ์ง: ๊ดํ ์์คํ ๋ด์ ๋ฐ์ฌ๋ ์์น ์๋ ๊ณ ์คํธ ์ด๋ฏธ์ง๋ฅผ ์์ฑํ์ฌ ์ด๋ฏธ์ง ํ์ง์ ์ ํ์ํฌ ์ ์์ต๋๋ค.
- ๋ฏธ๊ด(Stray Light): ๋ฐ์ฌ๋ ๋น์ด ์์คํ ๋ด์์ ์ฐ๋๋์ด ๋ ธ์ด์ฆ๋ฅผ ์ฆ๊ฐ์ํค๊ณ ๋๋น๋ฅผ ๊ฐ์์ํฌ ์ ์์ต๋๋ค.
- ์๋์ง ์์ค: ๊ณ ์ถ๋ ฅ ๋ ์ด์ ์์คํ ์์ ๋ฐ์ฌ๋ ์๋์ง ์์ค๊ณผ ๊ดํ ๋ถํ์ ์ ์ฌ์ ์์์ ์ด๋ํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ดํ ์ฝํ ์ ์ญํ
๊ดํ ์ฝํ ์ ๊ดํ ํ๋ฉด์์ ๋น์ ๋ฐ์ฌ์ ํฌ๊ณผ๋ฅผ ์ ๋ฐํ๊ฒ ์ ์ดํ์ฌ ์ด๋ฌํ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ํด๊ฒฐํฉ๋๋ค. ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ ์คํ๊ฒ ์ ํํ๊ณ ์ฆ์ฐฉ๋ ์ธต์ ๋๊ป๋ฅผ ์ ์ดํจ์ผ๋ก์จ ์์ง๋์ด๋ ํน์ ์์ฉ ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ์ถฉ์กฑํ๋๋ก ๋ถํ์ ๊ดํ์ ํน์ฑ์ ๋ง์ถคํํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ดํ ์ฝํ ์ ์ข ๋ฅ
๊ดํ ์ฝํ ์ ์ฃผ์ ๊ธฐ๋ฅ์ ๋ฐ๋ผ ์ฌ๋ฌ ์ ํ์ผ๋ก ๊ด๋ฒ์ํ๊ฒ ๋ถ๋ฅ๋ฉ๋๋ค.
๋ฌด๋ฐ์ฌ(AR) ์ฝํ
๋ฌด๋ฐ์ฌ ์ฝํ ์ ํ๋ฉด์์ ๋ฐ์ฌ๋๋ ๋น์ ์์ ์ต์ํํ์ฌ ํฌ๊ณผ๋ฅผ ๊ทน๋ํํ๋๋ก ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค. ์ด๋ ์ฝํ ์ ์๋จ ๋ฐ ํ๋จ ํ๋ฉด์์ ๋ฐ์ฌ๋ ๋น ์ฌ์ด์ ์์ ๊ฐ์ญ์ ์ผ์ผ์ผ ์ด๋ฅผ ๋ฌ์ฑํฉ๋๋ค. ๋จ์ผ์ธต AR ์ฝํ ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๊ธฐํ(์: ์ ๋ฆฌ)๊ณผ ๊ณต๊ธฐ ์ฌ์ด์ ๊ตด์ ๋ฅ ์ ๊ฐ์ง ์ฌ๋ฃ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ฉ๋๋ค. ๋ ์ ๊ตํ ๋ค์ธต AR ์ฝํ ์ ๋์ ํ์ฅ ๋ฒ์์ ๊ฑธ์ณ ๊ฑฐ์ ์ ๋ก์ ๊ฐ๊น์ด ๋ฐ์ฌ๋ฅผ ๋ฌ์ฑํ ์ ์์ต๋๋ค.
์์: ์นด๋ฉ๋ผ ๋ ์ฆ๋ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ค์ธต AR ์ฝํ ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋๋ถ์ฌ์ ์ค์ด๊ณ ์ด๋ฏธ์ง ์ ๋ช ๋๋ฅผ ํฅ์์ํต๋๋ค. ๊ณ ์ฑ๋ฅ ์์๊ฒฝ๊ณผ ๋ง์๊ฒฝ๋ AR ์ฝํ ์ ํฐ ์ด์ ์ ์ป์ต๋๋ค.
AR ์ฝํ ์ ์๋ฆฌ๋ ๋ฐ๋ง ๊ฐ์ญ์ ๊ธฐ๋ฐํฉ๋๋ค. ๋น์ ํ๋์ด ๋ฐ๋ง์ ์๋ฉด๊ณผ ๋ท๋ฉด์์ ๋ฐ์ฌ๋ ๋ ์๋ก ๊ฐ์ญํฉ๋๋ค. ํ๋ฆ ๋๊ป๊ฐ ํ๋ฆ ์ฌ๋ฃ ๋ด ๋น์ ํ์ฅ์ ์ฝ 4๋ถ์ 1์ด๊ณ ๊ตด์ ๋ฅ ์ด ์ ์ ํ๊ฒ ์ ํ๋๋ฉด ๋ฐ์ฌ๋ ํ๋์ ์์ ๊ฐ์ญ์ ์ผ์ผ์ผ ์๋ก๋ฅผ ์์ํ๊ณ ๋ฐ์ฌ๋ฅผ ์ต์ํํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ณ ๋ฐ์ฌ(HR) ์ฝํ
๊ฑฐ์ธ ์ฝํ ์ผ๋ก๋ ์๋ ค์ง ๊ณ ๋ฐ์ฌ ์ฝํ ์ ํ๋ฉด์์ ๋ฐ์ฌ๋๋ ๋น์ ์์ ์ต๋ํํ๋๋ก ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๊ณ ๊ตด์ ๋ฅ ๋ฐ ์ ๊ตด์ ๋ฅ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ๋ฒ๊ฐ์ ๊ฐ๋ฉฐ ์ฌ๋ฌ ์ธต์ผ๋ก ๊ตฌ์ฑ๋ฉ๋๋ค. ๊ฐ ์ธต์ ์ ์ฌ๊ด์ ์ผ๋ถ๋ฅผ ๋ฐ์ฌํ๊ณ , ๋ฐ์ฌ๋ ํ๋์ ๋ณด๊ฐ ๊ฐ์ญ์ ์ผ์ผ์ผ ๋์ ์ ์ฒด ๋ฐ์ฌ์จ์ ๋ํ๋ ๋๋ค. ์๋ฃจ๋ฏธ๋, ์, ๊ธ๊ณผ ๊ฐ์ ๊ธ์ ์ฝํ ๋ ํนํ ๊ด๋์ญ ๋๋ ์ ์ธ์ ์์ญ์์ ๊ณ ๋ฐ์ฌ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
์์: ๋ ์ด์ ๊ฑฐ์ธ์ ์ข ์ข HR ์ฝํ ์ ํ์ฉํ์ฌ ๊ณต๋ ๋ด์์ ๋ ์ด์ ๋น์ ๋ฐ์ฌ์์ผ ์ ๋ ๋ฐฉ์ถ ๋ฐ ์ฆํญ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค. ์ฒ์ฒด ๋ง์๊ฒฝ์ ๊ฑฐ๋ํ HR ๊ฑฐ์ธ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋ฉ๋ฆฌ ๋จ์ด์ง ์ฒ์ฒด์ ๋น์ ์์งํ๊ณ ์ด์ ์ ๋ง์ถฅ๋๋ค.
๋น ์คํ๋ฆฌํฐ ์ฝํ
๋น ์คํ๋ฆฌํฐ ์ฝํ ์ ๋น์ ๋ถ๋ถ์ ์ผ๋ก ํฌ๊ณผํ๊ณ ๋ถ๋ถ์ ์ผ๋ก ๋ฐ์ฌํ๋๋ก ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค. ํฌ๊ณผ ๋ ๋ฐ์ฌ ๋น์จ์ ํน์ ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ๋ง๊ฒ ์กฐ์ ํ ์ ์์ผ๋ฉฐ, ์๋ฅผ ๋ค์ด ์ ์ฌ๊ด์ ๋ ๊ฐ์ ๋น์ผ๋ก ๋๊ฐ์ด ๋๋๋ 50/50 ๋น ์คํ๋ฆฌํฐ๊ฐ ์์ต๋๋ค. ๋น ์คํ๋ฆฌํฐ๋ ๊ฐ์ญ๊ณ, ๊ดํ ํ๋ฏธ๊ฒฝ ๋ฐ ๋น ์กฐ์์ด ํ์ํ ๊ธฐํ ๊ดํ ์์คํ ์์ ํ์์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ ์์์ ๋๋ค.
์์: ๋ง์ด์ปฌ์จ ๊ฐ์ญ๊ณ์์ ๋น ์คํ๋ฆฌํฐ๋ ๊ด์ ์ ๋ ๊ฐ์ ๊ฒฝ๋ก๋ก ๋๋๊ณ , ์ด ๊ฒฝ๋ก๊ฐ ๋ค์ ๊ฒฐํฉ๋์ด ๊ฐ์ญ ํจํด์ ์์ฑํฉ๋๋ค. ๊ด๊ฐ์ญ ๋จ์ธต์ดฌ์(OCT) ์์คํ ๊ณผ ๊ฐ์ ์๋ฃ ์์ ์ฅ๋น๋ ์ ๋ฐํ ๋น ์กฐ์์ ์ํด ๋น ์คํ๋ฆฌํฐ์ ์์กดํฉ๋๋ค.
ํํฐ ์ฝํ
ํํฐ ์ฝํ ์ ํ์ฅ์ ๋ฐ๋ผ ๋น์ ์ ํ์ ์ผ๋ก ํฌ๊ณผํ๊ฑฐ๋ ๋ฐ์ฌํ๋๋ก ์ค๊ณ๋์์ต๋๋ค. ํน์ ํ์ฅ ๋ฒ์ ๋ด์ ๋น์ ํฌ๊ณผ์ํค๊ณ ๊ทธ ๋ฒ์ ๋ฐ์ ๋น์ ์ฐจ๋จํ๋ ๋์ญ ํต๊ณผ ํํฐ, ํน์ ํ์ฅ ์ดํ์ ๋น์ ํฌ๊ณผ์ํค๋ ๋จํ์ฅ ํต๊ณผ ํํฐ, ํน์ ํ์ฅ ์ด์์ ๋น์ ํฌ๊ณผ์ํค๋ ์ฅํ์ฅ ํต๊ณผ ํํฐ๋ฅผ ๋ง๋๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค. ํํฐ ์ฝํ ์ ๋ถ๊ดํ, ์ด๋ฏธ์ง ๋ฐ ์คํํธ๋ผ ์ ์ด๊ฐ ํ์ํ ๊ธฐํ ์์ฉ ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
์์: ๋ถ๊ด ๊ด๋๊ณ๋ ํํฐ ์ฝํ ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ฌ๋ฃ์ ์คํํธ๋ผ ํน์ฑ์ ๋ถ์ํ๊ธฐ ์ํด ํน์ ํ์ฅ์ ๋น์ ๋ถ๋ฆฌํฉ๋๋ค. ๋์งํธ ์นด๋ฉ๋ผ๋ ์ ์ธ์ (IR) ์ฐจ๋จ ํํฐ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ IR ๋น์ด ์ผ์์ ๋๋ฌํ๋ ๊ฒ์ ๋ง์ ์์น ์๋ ์ ์๊ณก์ ๋ฐฉ์งํฉ๋๋ค.
๋ณดํธ ์ฝํ
๊ดํ์ ํน์ฑ์ ์์ ํ๋ ๊ฒ ์ธ์๋ ์ฝํ ์ ํ๊ฒฝ์ ์์์ผ๋ก๋ถํฐ ๊ดํ ๋ถํ์ ๋ณดํธํ๋ ๋ฐ์๋ ์ฌ์ฉํ ์ ์์ต๋๋ค. ๋ณดํธ ์ฝํ ์ ๋ง๋ชจ, ์ต๋, ํํ ๋ฌผ์ง ๋ฐ ๊ดํ ๋ถํ์ ์ฑ๋ฅ๊ณผ ์๋ช ์ ์ ํ์ํฌ ์ ์๋ ๊ธฐํ ์์ธ์ ๋ํ ์ ํญ์ฑ์ ์ ๊ณตํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ฝํ ์ ์ข ์ข ๋ค๋ฅธ ๊ธฐ๋ฅ์ฑ ์ฝํ ์์ ์ต์ธ์ธต์ผ๋ก ์ ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
์์: ์๊ฒฝ์๋ ๊ธํ ๋ฐฉ์ง๋ฅผ ์ํด ํ๋ ์นด๋ณธ ์ฝํ ์ด ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ค์ธ ๊ฐ์ ์นด๋ฉ๋ผ์ ๊ฐ์ด ์ตํ ํ๊ฒฝ์์ ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ดํ ๋ถํ์๋ ๋ฐฉ์ต ์ฝํ ์ด ์ ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
๊ดํ ์ฝํ ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์ฌ๋ฃ
๊ดํ ์ฝํ ์ฉ ์ฌ๋ฃ ์ ํ์ ์ํ๋ ๊ดํ์ ํน์ฑ, ์๋ ํ์ฅ ๋ฒ์, ๊ธฐํ ์ฌ๋ฃ ๋ฐ ํ๊ฒฝ ์กฐ๊ฑด์ ํฌํจํ ์ฌ๋ฌ ์์ธ์ ๋ฐ๋ผ ๋ฌ๋ผ์ง๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ฌ๋ฃ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค.
- ๊ธ์ ์ฐํ๋ฌผ: TiO2(์ด์ฐํํฐํ๋), SiO2(์ด์ฐํ๊ท์), Al2O3(์ฐํ์๋ฃจ๋ฏธ๋), Ta2O5(์ค์ฐํํํ๋ผ), ZrO2(์ด์ฐํ์ง๋ฅด์ฝ๋)๋ ๋์ ๊ตด์ ๋ฅ , ์ฐ์ํ ํฌ๋ช ๋ ๋ฐ ํ๊ฒฝ ์์ ์ฑ์ผ๋ก ์ธํด ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ๋ถํ๋ฌผ: MgF2(๋ถํ๋ง๊ทธ๋ค์) ๋ฐ LaF3(๋ถํ๋ํ๋)๋ ๋ฎ์ ๊ตด์ ๋ฅ ๊ณผ ์์ธ์ ๋ฐ ๊ฐ์๊ด์ ์์ญ์์์ ์ฐ์ํ ํฌ๋ช ๋ ๋๋ฌธ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ๊ธ์: ์๋ฃจ๋ฏธ๋, ์, ๊ธ, ํฌ๋กฌ์ ํนํ ์ ์ธ์ ๋ฐ ๊ด๋์ญ ์์ญ์์ ๊ณ ๋ฐ์ฌ ์ฝํ ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ๋ฐ๋์ฒด: ์ค๋ฆฌ์ฝ๊ณผ ๊ฒ๋ฅด๋ง๋์ ์ ์ธ์ ์์ญ์ ์ฝํ ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ์นผ์ฝ๊ฒํ๋ฌผ: ํฉ, ์ ๋ ๋ ๋๋ ํ ๋ฃจ๋ฅจ์ ํฌํจํ๋ ํํฉ๋ฌผ๋ก, ์ค์ ์ธ์ ์์ญ์ ์ฝํ ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
์ฆ์ฐฉ ๊ธฐ์
๊ดํ ์ฝํ ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ฐ๋ง ์ฆ์ฐฉ ๊ธฐ์ ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ฆ์ฐฉ๋ฉ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ธฐ์ ์ ํตํด ์ฆ์ฐฉ๋ ์ธต์ ๋๊ป์ ๊ตฌ์ฑ์ ์ ๋ฐํ๊ฒ ์ ์ดํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ฆ์ฐฉ ๊ธฐ์ ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค.
- ์ฆ๋ฐ๋ฒ: ์ฆ๋ฐ๋ฒ์์๋ ์ฝํ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ง๊ณต ์ฑ๋ฒ์์ ์ฆ๋ฐํ ๋๊น์ง ๊ฐ์ดํฉ๋๋ค. ๊ธฐํ๋ ์ฌ๋ฃ๋ ๊ธฐํ์ ์์ถ๋์ด ๋ฐ๋ง์ ํ์ฑํฉ๋๋ค. ์ ์๋น ์ฆ๋ฐ๋ฒ๊ณผ ์ด ์ฆ๋ฐ๋ฒ์ด ์ด ๊ธฐ์ ์ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ๋ณํ์ ๋๋ค.
- ์คํผํฐ๋ง: ์คํผํฐ๋ง์์๋ ์ด์จ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ํ๊ฒ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ถฉ๋์์ผ ์์๊ฐ ํ๊ฒ์์ ๋ฐฉ์ถ๋์ด ๊ธฐํ์ ์ฆ์ฐฉ๋๋๋ก ํฉ๋๋ค. ์คํผํฐ๋ง์ ์ฆ๋ฐ๋ฒ์ ๋นํด ๋ ๋์ ์ ์ฐฉ๋ ฅ๊ณผ ๊ท ์ผ์ฑ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค. ๋ง๊ทธ๋คํธ๋ก ์คํผํฐ๋ง์ ์ฆ์ฐฉ ์๋๋ฅผ ํฅ์์ํค๋ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๋ ๋ณํ์ ๋๋ค.
- ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ(CVD): CVD์์๋ ๊ธฐ์ฒด ์ ๊ตฌ์ฒด๊ฐ ๊ธฐํ ํ๋ฉด์์ ๋ฐ์ํ์ฌ ๊ณ ์ฒด ํ๋ฆ์ ํ์ฑํฉ๋๋ค. CVD๋ ๋จ๋จํ๊ณ ๋ด๊ตฌ์ฑ ์๋ ์ฝํ ์ ์ฆ์ฐฉํ๋ ๋ฐ ์์ฃผ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ํ๋ผ์ฆ๋ง ๊ฐํ CVD(PECVD)๋ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋ฐ์ ์๋๋ฅผ ํฅ์์ํค๋ ๋ณํ์ ๋๋ค.
- ์์์ธต ์ฆ์ฐฉ(ALD): ALD๋ ๋งค์ฐ ๊ท ์ผํ๊ณ ๋ฑ๊ฐ์ ์ธ ํ๋ฆ์ ์ ๋ฐํ ๋๊ป ์ ์ด๋ก ์ฆ์ฐฉํ ์ ์๋ ์๊ธฐ ์ ํ์ ๊ณต์ ์ ๋๋ค. ALD๋ ๋ณต์กํ ๊ธฐํํ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋์ ์ข ํก๋น ๊ตฌ์กฐ์ ์ฝํ ์ ์ฆ์ฐฉํ๋ ๋ฐ ํนํ ์ ์ฉํฉ๋๋ค.
- ์คํ ์ฝํ : ์ฃผ๋ก ๊ณ ๋ถ์ ๊ธฐ๋ฐ ์ฝํ ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ์คํ ์ฝํ ์ ํ์ ํ๋ ๊ธฐํ์ ์ก์ฒด ์ฉ์ก์ ๋ถ์ฃผํ๋ ๊ฒ์ ํฌํจํฉ๋๋ค. ์์ฌ๋ ฅ์ด ์ฉ์ก์ ์์ ํ๋ฆ์ผ๋ก ํผ๋จ๋ฆฌ๊ณ , ๊ทธ ๋ค์ ๊ฑด์กฐ๋๊ฑฐ๋ ๊ฒฝํ๋ฉ๋๋ค.
๊ดํ ์ฝํ ์ ์์ฉ ๋ถ์ผ
๊ดํ ์ฝํ ์ ์ ์ธ๊ณ์ ์ผ๋ก ๊ด๋ฒ์ํ ์ฐ์ ๋ฐ ๊ธฐ์ ๋ถ์ผ์์ ์์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ์๋น์ ์ ์์ ํ: ์ค๋งํธํฐ ํ๋ฉด, ์นด๋ฉ๋ผ ๋ ์ฆ ๋ฐ ๋์คํ๋ ์ด ํจ๋์ AR ์ฝํ ์ ๊ฐ์์ฑ๊ณผ ์ด๋ฏธ์ง ํ์ง์ ํฅ์์ํต๋๋ค.
- ์๋์ฐจ: ์ ์ ๋ฆฌ์ AR ์ฝํ ์ ๋๋ถ์ฌ์ ์ค์ด๊ณ ์ด์ ์์ ๊ฐ์์ฑ์ ํฅ์์ํต๋๋ค. ๋ฐฑ๋ฏธ๋ฌ์ ํค๋๋ผ์ดํธ์ ์ฝํ ์ ์์ ์ฑ์ ๋์ ๋๋ค.
- ํญ๊ณต์ฐ์ฃผ: ์์ฑ ๊ฑฐ์ธ ๋ฐ ๋ง์๊ฒฝ ๊ดํ ์ฅ์น์ HR ์ฝํ ์ ์๊ฒฉ ๊ฐ์ง ๋ฐ ์ฒ๋ฌธ ๊ด์ธก์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค. ํญ๊ณต๊ธฐ ์ฐฝ๋ฌธ์ ์ฝํ ์ ์์ธ์ ๋ฐ ๋ง๋ชจ๋ก๋ถํฐ ๋ณดํธํฉ๋๋ค.
- ์๋ฃ ๊ธฐ๊ธฐ: ๋ด์๊ฒฝ ๋ฐ ์์ ํ๋ฏธ๊ฒฝ์ AR ์ฝํ ์ ์๋ฃ ์ ์ฐจ ์ค ์ด๋ฏธ์ง ์ ๋ช ๋์ ์๊ฐํ๋ฅผ ํฅ์์ํต๋๋ค. ํํฐ ์ฝํ ์ ์ง๋จ ๊ธฐ๊ธฐ ๋ฐ ๋ ์ด์ ๊ธฐ๋ฐ ์น๋ฃ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ํต์ : ๊ด์ฌ์ ๋ฐ ์ปค๋ฅํฐ์ AR ์ฝํ ์ ๊ดํต์ ์์คํ ์ ์ ํธ ์์ค์ ์ต์ํํฉ๋๋ค. ํํฐ ์ฝํ ์ ํ์ฅ ๋ถํ ๋ค์คํ(WDM) ์์คํ ์์ ๊ด ์ ํธ๋ฅผ ๋ถ๋ฆฌํ๊ณ ๊ฒฐํฉํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ์กฐ๋ช : ๋จํ ๋ฐ ๋ฑ๊ธฐ๊ตฌ์ ๋ฐ์ฌํ์ ์๋ HR ์ฝํ ์ ๊ด ์ถ๋ ฅ๊ณผ ์๋์ง ํจ์จ์ ํฅ์์ํต๋๋ค. ํํฐ ์ฝํ ์ ์ ์๊ด์ ๋ง๋ค๊ณ ๊ด์์ ์์จ๋๋ฅผ ์กฐ์ ํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ํ์ ์๋์ง: ํ์ ์ ์ง์ AR ์ฝํ ์ ํก์๋๋ ํ๋น์ ์์ ๋๋ ค ํ์ ์๋์ง ๋ณํ ํจ์จ์ ํฅ์์ํต๋๋ค.
- ๊ณผํ ๊ธฐ๊ธฐ: ๊ดํ ์ฝํ ์ ์ฐ๊ตฌ ๊ฐ๋ฐ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ๋ถ๊ด๊ณ, ๊ฐ์ญ๊ณ, ๋ ์ด์ ๋ฐ ๊ธฐํ ๊ณผํ ๊ธฐ๊ธฐ์์ ํ์์ ์ธ ๊ตฌ์ฑ ์์์ ๋๋ค.
๊ดํ ์ฝํ ์ค๊ณ
๊ดํ ์ฝํ ์ค๊ณ๋ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ ์คํ๊ฒ ์ ํํ๊ณ , ์ธต ๋๊ป๋ฅผ ๊ฒฐ์ ํ๊ณ , ์ํ๋ ๊ดํ ์ฑ๋ฅ์ ๋ฌ์ฑํ๊ธฐ ์ํด ์ฝํ ๊ตฌ์กฐ๋ฅผ ์ต์ ํํ๋ ๊ฒ์ ํฌํจํฉ๋๋ค. ์ ๊ตํ ์ํํธ์จ์ด ๋๊ตฌ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ฝํ ์ ๊ดํ์ ํน์ฑ์ ์๋ฎฌ๋ ์ด์ ํ๊ณ ํน์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๋ง๊ฒ ์ค๊ณ๋ฅผ ์ต์ ํํฉ๋๋ค. ์ค๊ณ ๊ณผ์ ์์ ์ ์ฌ๊ฐ, ํธ๊ด ๋ฐ ํ์ฅ ๋ฒ์์ ๊ฐ์ ์์๋ฅผ ๊ณ ๋ คํด์ผ ํฉ๋๋ค.
์ค๊ณ ๊ณผ์ ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ๋ค์์ ํฌํจํฉ๋๋ค.
- ์ฑ๋ฅ ์๊ตฌ ์ฌํญ ์ ์: ์ฝํ ์ ์ํ๋ ๋ฐ์ฌ์จ, ํฌ๊ณผ์จ ๋ฐ ์คํํธ๋ผ ํน์ฑ์ ์ง์ ํฉ๋๋ค.
- ์ฌ๋ฃ ์ ํ: ๊ตด์ ๋ฅ , ํก์ ๊ณ์ ๋ฐ ํ๊ฒฝ ์์ ์ฑ์ ๊ธฐ๋ฐ์ผ๋ก ์ ์ ํ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ ํํฉ๋๋ค.
- ์ธต ๊ตฌ์กฐ ์์ฑ: ํน์ ์ธต ๋๊ป์ ๊ตด์ ๋ฅ ํ๋กํ์ผ์ ๊ฐ์ง ๋ค์ธต ์คํ์ ์ค๊ณํฉ๋๋ค.
- ๊ดํ์ ํน์ฑ ์๋ฎฌ๋ ์ด์ : ์ํํธ์จ์ด ๋๊ตฌ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ฝํ ์ ๋ฐ์ฌ์จ, ํฌ๊ณผ์จ ๋ฐ ๊ธฐํ ๊ดํ์ ํน์ฑ์ ๊ณ์ฐํฉ๋๋ค.
- ์ค๊ณ ์ต์ ํ: ์ธต ๋๊ป์ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์กฐ์ ํ์ฌ ์ฝํ ์ฑ๋ฅ์ ๊ฐ์ ํ๊ณ ์ค๊ณ ์๊ตฌ ์ฌํญ์ ์ถฉ์กฑ์ํต๋๋ค.
- ๋ฏผ๊ฐ๋ ๋ถ์: ์ธต ๋๊ป ๋ฐ ์ฌ๋ฃ ํน์ฑ์ ๋ณํ์ ๋ํ ์ฝํ ์ฑ๋ฅ์ ๋ฏผ๊ฐ๋๋ฅผ ํ๊ฐํฉ๋๋ค.
๊ณผ์ ๋ฐ ๋ฏธ๋ ๋ํฅ
๊ดํ ์ฝํ ๊ธฐ์ ์ ๋ฐ์ ์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ ๋ช ๊ฐ์ง ๊ณผ์ ๊ฐ ๋จ์ ์์ต๋๋ค.
- ๋น์ฉ: ๊ดํ ์ฝํ ๋น์ฉ์ ํนํ ๋ณต์กํ ๋ค์ธต ์ฝํ ๋ฐ ๋๋ฉด์ ๊ธฐํ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ค์ํ ์์ธ์ด ๋ ์ ์์ต๋๋ค.
- ๋ด๊ตฌ์ฑ: ์ผ๋ถ ์ฝํ ์ ๋ง๋ชจ, ์ต๋ ๋๋ ํํ ๋ฌผ์ง ๋ ธ์ถ๋ก ์ธํ ์์์ ์ทจ์ฝํฉ๋๋ค. ์ฝํ ์ ๋ด๊ตฌ์ฑ๊ณผ ํ๊ฒฝ ์์ ์ฑ์ ํฅ์์ํค๋ ๊ฒ์ ์ง์์ ์ธ ๊ณผ์ ์ ๋๋ค.
- ์๋ ฅ: ์ฆ์ฐฉ๋ ์ธต์ ์๋ ฅ์ ์ฝํ ์ ์๊ณก์ด๋ ๋ฐ๋ฆฌ๋ฅผ ์ ๋ฐํ ์ ์์ต๋๋ค. ์๋ ฅ ์ ์ด๋ ๊ดํ ๋ถํ์ ์ฑ๋ฅ๊ณผ ์ ๋ขฐ์ฑ์ ์ ์งํ๋ ๋ฐ ์ค์ํฉ๋๋ค.
- ๊ท ์ผ์ฑ: ๋๋ฉด์ ๊ธฐํ์ ๊ฑธ์ณ ๊ท ์ผํ ์ฝํ ๋๊ป์ ์กฐ์ฑ์ ๋ฌ์ฑํ๋ ๊ฒ์ ํนํ ๋ณต์กํ ์ฝํ ์ค๊ณ์ ๊ฒฝ์ฐ ์ด๋ ค์ธ ์ ์์ต๋๋ค.
- ์คํํธ๋ผ ๋ฒ์: ์ฌ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ ์ฌ๋ฃ์ ํ๊ณ๋ก ์ธํด ๋์ ์คํํธ๋ผ ๋ฒ์์์ ์ ์๋ํ๋ ์ฝํ ์ ๊ฐ๋ฐํ๋ ๊ฒ์ ์ด๋ ต์ต๋๋ค.
๊ดํ ์ฝํ ์ ๋ฏธ๋ ๋ํฅ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค.
- ์ฒจ๋จ ์ฌ๋ฃ: ์ฐ๊ตฌ๋ ํฅ์๋ ๊ดํ์ ํน์ฑ, ํ๊ฒฝ ์์ ์ฑ ๋ฐ ๊ธฐ๊ณ์ ๊ฐ๋๋ฅผ ๊ฐ์ง ์๋ก์ด ์ฌ๋ฃ ๊ฐ๋ฐ์ ์ด์ ์ ๋ง์ถ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์๋ก๋ ๋๋ ธ๊ตฌ์กฐ ์ฌ๋ฃ, ๋ฉํ๋ฌผ์ง ๋ฐ ์ ๊ธฐ-๋ฌด๊ธฐ ํ์ด๋ธ๋ฆฌ๋ ์ฌ๋ฃ๊ฐ ์์ต๋๋ค.
- ๋๋ ธ๊ธฐ์ : ๋๋ ธ๊ธฐ์ ์ ๋ ํนํ ๊ดํ์ ํน์ฑ๊ณผ ๊ธฐ๋ฅ์ ๊ฐ์ง ์ฝํ ์์ฑ์ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋๋ ธ์ ์, ์์์ ๋ฐ ๊ธฐํ ๋๋ ธ๊ตฌ์กฐ๋ฌผ์ด ๋๋ ธ ๊ท๋ชจ์์ ๋น์ ์ ์ดํ๊ธฐ ์ํด ์ฝํ ์ ํตํฉ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
- ์์์ธต ์ฆ์ฐฉ(ALD): ALD๋ ๋งค์ฐ ๊ท ์ผํ๊ณ ๋ฑ๊ฐ์ ์ธ ํ๋ฆ์ ์ ๋ฐํ ๋๊ป ์ ์ด๋ก ์ฆ์ฐฉํ ์ ์๋ ๋ฅ๋ ฅ ๋๋ฌธ์ ์ ์ ๋ ๋ง์ ์ฃผ๋ชฉ์ ๋ฐ๊ณ ์์ต๋๋ค. ALD๋ ๋ณต์กํ ๊ธฐํํ์ ๊ตฌ์กฐ์ ๋์ ์ข ํก๋น ๊ตฌ์กฐ์ ์ฝํ ์ ์ฆ์ฐฉํ๋ ๋ฐ ํนํ ์ ํฉํฉ๋๋ค.
- ์ค๋งํธ ์ฝํ : ์ค๋งํธ ์ฝํ ์ ์จ๋, ๋น ๋๋ ์ ๊ธฐ์ฅ๊ณผ ๊ฐ์ ์ธ๋ถ ์๊ทน์ ๋ฐ์ํ์ฌ ๊ดํ์ ํน์ฑ์ ๋ณ๊ฒฝํ ์ ์๋ ์ฝํ ์ ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ฝํ ์ ์ ์ ๊ดํ, ๋์คํ๋ ์ด ๋ฐ ์ผ์์ ์ ์ฌ์ ์ธ ์์ฉ ๋ถ์ผ๋ฅผ ๊ฐ์ง๋๋ค.
- ์๋ถํด์ฑ ์ฝํ : ํ๊ฒฝ ์ธ์์ด ๋์์ง์ ๋ฐ๋ผ ์๋ถํด์ฑ ๋ฐ ์ง์ ๊ฐ๋ฅํ ๊ดํ ์ฝํ ๊ฐ๋ฐ์ ๋ํ ๊ด์ฌ์ด ์ฆ๊ฐํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ฝํ ์ ํ๊ฒฝ ์นํ์ ์ธ ์ฌ๋ฃ๋ก ๋ง๋ค์ด์ง๋ฉฐ ์ ํจ ์๋ช ์ด ์ง๋ ํ ๋ถํด๋๋๋ก ์ค๊ณ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
๊ดํ ์ฝํ ์ ๊ธ๋ก๋ฒ ์์ฅ
๊ดํ ์ฝํ ์ ๊ธ๋ก๋ฒ ์์ฅ์ ์๋น์ ์ ์์ ํ, ์๋์ฐจ, ํญ๊ณต์ฐ์ฃผ, ์๋ฃ ๊ธฐ๊ธฐ ๋ฐ ํต์ ์ ํฌํจํ ๋ค์ํ ์ฐ์ ์ ์์ ์ฆ๊ฐ์ ํ์ ์ด ๊พธ์คํ ์ฑ์ฅ์ ๊ฒฝํํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์์ฅ์ ๋งค์ฐ ๊ฒฝ์์ด ์น์ดํ๋ฉฐ, ๋ง์ ๊ธฐ์ ๋ค์ด ๊ด๋ฒ์ํ ์ฝํ ์๋น์ค์ ์ ํ์ ์ ๊ณตํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๊ธ๋ก๋ฒ ๊ดํ ์ฝํ ์์ฅ์ ์ฃผ์ ์ ์ฒด๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค.
- VIAVI Solutions Inc. (๋ฏธ๊ตญ)
- II-VI Incorporated (๋ฏธ๊ตญ)
- Jenoptik AG (๋ ์ผ)
- PPG Industries, Inc. (๋ฏธ๊ตญ)
- AGC Inc. (์ผ๋ณธ)
- ZEISS International (๋ ์ผ)
- Lumentum Operations LLC (๋ฏธ๊ตญ)
- Reytek Corporation (๋ฏธ๊ตญ)
- Optical Coatings Japan (์ผ๋ณธ)
- Precision Optical (๋ฏธ๊ตญ)
์์ฅ์ ์ฝํ ์ ํ, ์์ฉ ๋ถ์ผ ๋ฐ ์ง์ญ๋ณ๋ก ์ธ๋ถํ๋ฉ๋๋ค. ๋ฌด๋ฐ์ฌ ์ฝํ ๋ถ๋ฌธ์ ๋ค์ํ ์์ฉ ๋ถ์ผ์์ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๊ธฐ ๋๋ฌธ์ ๊ณ์ํด์ ์์ฅ์ ์ง๋ฐฐํ ๊ฒ์ผ๋ก ์์๋ฉ๋๋ค. ์๋น์ ์ ์์ ํ ๋ฐ ์๋์ฐจ ๋ถ๋ฌธ์ ๊ฐ์ฅ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ฑ์ฅํ๋ ์์ฉ ๋ถ๋ฌธ์ด ๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์์๋ฉ๋๋ค. ๋ถ๋ฏธ, ์ ๋ฝ ๋ฐ ์์์ ํํ์ ์ง์ญ์ด ๊ดํ ์ฝํ ์ ์ฃผ์ ์ง์ญ ์์ฅ์ ๋๋ค.
๊ฒฐ๋ก
๊ดํ ์ฝํ ์ ํ๋ฉด ๋ฐ์ฌ๋ฅผ ์ ์ดํ๊ณ ๊ด๋ฒ์ํ ์์ฉ ๋ถ์ผ์์ ๋น์ ์กฐ์ํ๋ ๋ฐ ํ์์ ์ ๋๋ค. ์๋น์ ์ ์์ ํ์ ์ด๋ฏธ์ง ํ์ง์ ํฅ์์ํค๋ ๊ฒ๋ถํฐ ์ฒจ๋จ ๊ณผํ ์ฐ๊ตฌ๋ฅผ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํ๋ ๊ฒ๊น์ง, ๊ดํ ์ฝํ ์ ํ๋ ๊ธฐ์ ์์ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค. ๊ธฐ์ ์ด ๊ณ์ ๋ฐ์ ํจ์ ๋ฐ๋ผ ํฅ์๋ ์ฑ๋ฅ, ๋ด๊ตฌ์ฑ ๋ฐ ๊ธฐ๋ฅ์ ๊ฐ์ถ ์ฒจ๋จ ๊ดํ ์ฝํ ์ ๋ํ ์์๋ ๊ณ์ ์ฆ๊ฐํ ๊ฒ์ ๋๋ค. ์ง์์ ์ธ ์ฐ๊ตฌ ๊ฐ๋ฐ ๋ ธ๋ ฅ์ ๊ธ๋ก๋ฒ ์์ฅ์ ๊ณ์ ์ฆ๊ฐํ๋ ์๊ตฌ๋ฅผ ์ถฉ์กฑ์ํค๊ธฐ ์ํด ์๋ก์ด ์ฌ๋ฃ, ์ฆ์ฐฉ ๊ธฐ์ ๋ฐ ์ฝํ ์ค๊ณ๋ฅผ ๊ฐ๋ฐํ๋ ๋ฐ ์ด์ ์ ๋ง์ถ๊ณ ์์ต๋๋ค.
ํ๋ฉด ๋ฐ์ฌ์ ์๋ฆฌ, ๊ดํ ์ฝํ ์ ์ข ๋ฅ, ์ฌ์ฉ ๊ฐ๋ฅํ ์ฌ๋ฃ ๋ฐ ์ฆ์ฐฉ ๊ธฐ์ ์ ์ดํดํจ์ผ๋ก์จ ์์ง๋์ด์ ๊ณผํ์๋ ๊ดํ ์ฝํ ์ ํจ๊ณผ์ ์ผ๋ก ํ์ฉํ์ฌ ๊ดํ ์์คํ ๋ฐ ์ฅ์น์ ์ฑ๋ฅ์ ์ต์ ํํ ์ ์์ต๋๋ค. ์ด ๊ธฐ์ฌ๋ ๊ดํ ์ฝํ ์ ๋ํ ํฌ๊ด์ ์ธ ๊ฐ์๋ฅผ ์ ๊ณตํ๋ฉฐ, ์ด ํ์ ๊ธฐ์ ๊ณผ ๊ทธ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ๋ํ ๊ธ๋ก๋ฒ ๊ด์ ์ ์ ์ํ์ต๋๋ค.