๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ , ํต์ฌ ์์ฌ, ์ ์กฐ ๊ณต์ ๋ฐ ๋ฏธ๋ ๋ํฅ์ ์ค์ ์ ๋ ๋งคํน์ ์ธ ์ ์ ์์ฌ์ ์ธ๊ณ๋ฅผ ํํํ๋ฉฐ ๊ธ๋ก๋ฒ ์ ์ ์ฐ์ ์ ๋ฏธ๋๋ฅผ ์กฐ๋งํฉ๋๋ค.
์ ์ ์ฌ๋ฃ: ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์
๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ํ๋ ์ ์๊ณตํ์ ๊ทผ๊ฐ์ ์ด๋ฃจ๋ฉฐ, ์ค๋งํธํฐ๊ณผ ์ปดํจํฐ์์๋ถํฐ ์๋ฃ ๊ธฐ๊ธฐ, ์๋์ฐจ ์์คํ ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ๋ชจ๋ ๊ฒ์ ๊ธฐ๋ฐ์ด ๋ฉ๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ์ ๊ด๋ จ๋ ์ฌ๋ฃ์ ๊ณต์ ์ ์ดํดํ๋ ๊ฒ์ ์์ง๋์ด์ ๊ณผํ์๋ถํฐ ๋น์ฆ๋์ค ์ ๋ฌธ๊ฐ์ ํฌ์์์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ์ ์ ์ฐ์ ์ ๊ด๋ จ๋ ๋ชจ๋ ์ฌ๋์๊ฒ ๋งค์ฐ ์ค์ํฉ๋๋ค. ์ด ์ข ํฉ ๊ฐ์ด๋๋ ์ ์ ์ฌ๋ฃ์ ๋ํ ์ฌ์ธต์ ์ธ ๋ถ์์ ์ ๊ณตํ๋ฉฐ, ํนํ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ๊ณผ ๊ทธ ๊ธ๋ก๋ฒ ์ํฅ์ ์ด์ ์ ๋ง์ถฅ๋๋ค.
์ ์ ์ฌ๋ฃ๋ ๋ฌด์์ธ๊ฐ?
์ ์ ์ฌ๋ฃ๋ ์ ์ ๊ธฐ๊ธฐ์ ์ฌ์ฉํ๊ธฐ์ ์ ํฉํ ์ ๊ธฐ์ ํน์ฑ์ ๊ฐ์ง ๋ฌผ์ง์ ๋๋ค. ์ด๋ฌํ ์ฌ๋ฃ๋ ํฌ๊ฒ ๋์ฒด, ๋ถ๋์ฒด, ๋ฐ๋์ฒด๋ก ๋ถ๋ฅํ ์ ์์ต๋๋ค.
- ๋์ฒด๋ ๊ตฌ๋ฆฌ, ์๋ฃจ๋ฏธ๋๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ๊ธฐ๊ฐ ์ฝ๊ฒ ํ๋ฅผ ์ ์๋๋ก ํฉ๋๋ค.
- ๋ถ๋์ฒด๋ ์ ๋ฆฌ, ์ธ๋ผ๋ฏน๊ณผ ๊ฐ์ด ์ ๊ธฐ ํ๋ฆ์ ์ ํญํฉ๋๋ค.
- ๋ฐ๋์ฒด๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ, ๊ฒ๋ฅด๋ง๋๊ณผ ๊ฐ์ด ๋์ฒด์ ๋ถ๋์ฒด์ ์ค๊ฐ ์ ๋์ฑ์ ๊ฐ์ง๋๋ค. ์ด๋ค์ ์ ๋์ฑ์ ์ธ๋ถ ์์ธ์ ์ํด ์ ์ด๋ ์ ์์ด ํธ๋์ง์คํฐ ๋ฐ ๊ธฐํ ์ ์ ๋ถํ์ ๋ง๋๋ ๋ฐ ์ด์์ ์ ๋๋ค.
์ด ๊ฐ์ด๋๋ ์ฃผ๋ก ๋ฐ๋์ฒด, ํนํ ์ง์ ํ๋ก(IC) ์ ์กฐ์ ์ฌ์ฉ๋๋ ๋ฐ๋์ฒด์ ์ค์ ์ ๋ก๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ์ฌ๋ฃ: ํต์ฌ ์ฃผ์๋ค
์ค๋ฆฌ์ฝ (Si)
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋จ์ฐ์ฝ ๊ฐ์ฅ ๋๋ฆฌ ์ฌ์ฉ๋๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ฌ๋ฃ์ ๋๋ค. ํ๋ถํ ๋งค์ฅ๋, ๋น๊ต์ ์ ๋ ดํ ๋น์ฉ, ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ์ ํ๋ฆฝ๋ ์ ์กฐ ๊ณต์ ๋๋ถ์ ์ ์ ์ฐ์ ์์ ์ง๋ฐฐ์ ์ธ ์ฌ๋ฃ๊ฐ ๋์์ต๋๋ค. ์ค๋ฆฌ์ฝ์ด ์ฐ์ํ ์ ์ฐ์ฒด์ธ ์์ฐ ์ฐํ๋ง(SiO2)์ ํ์ฑํ ์ ์๋ค๋ ์ ๋ํ ์ฃผ์ ์ฅ์ ์ ๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ฅ์ :
- ํ๋ถํ ๋งค์ฅ๋: ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ง๊ตฌ ์ง๊ฐ์์ ๋ ๋ฒ์งธ๋ก ํ๋ถํ ์์์ ๋๋ค.
- ๋น์ฉ ํจ์จ์ฑ: ์ค๋ฆฌ์ฝ ๊ณต์ ๊ธฐ์ ์ ์ฑ์ํ์ผ๋ฉฐ ๋น๊ต์ ์ ๋ ดํฉ๋๋ค.
- ์ฐ์ํ ์ ์ฐ์ฒด: ์ด์ฐํ๊ท์(SiO2)๋ MOSFET์ ์ฌ์ฉ๋๋ ๊ณ ํ์ง ์ ์ฐ์ฒด์ ๋๋ค.
- ์ด ์์ ์ฑ: ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์๋ ์จ๋์์ ์ด ์์ ์ฑ์ด ์ข์ต๋๋ค.
์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋จ์ :
- ๋ฎ์ ์ ์ ์ด๋๋: ๋ค๋ฅธ ๋ฐ๋์ฒด์ ๋นํด ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ์ ์ ์ด๋๋๊ฐ ๋ฎ์ ์์์ ์๋๋ฅผ ์ ํํฉ๋๋ค.
- ๊ฐ์ ๋ฐด๋๊ฐญ: ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๊ฐ์ ๋ฐด๋๊ฐญ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ด ๊ด์ ์ ์์ฉ(์: LED, ๋ ์ด์ )์ ๋นํจ์จ์ ์ ๋๋ค.
๊ฒ๋ฅด๋ง๋ (Ge)
๊ฒ๋ฅด๋ง๋์ ํธ๋์ง์คํฐ์ ์ฌ์ฉ๋ ์ต์ด์ ๋ฐ๋์ฒด ์ฌ๋ฃ ์ค ํ๋์์ง๋ง, ๋ฎ์ ๋ฐด๋๊ฐญ๊ณผ ์จ๋์ ๋ํ ๋์ ๋ฏผ๊ฐ์ฑ ๋๋ฌธ์ ๋๋ถ๋ถ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ผ๋ก ๋์ฒด๋์์ต๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ๊ฒ๋ฅด๋ง๋์ ์ฌ์ ํ ๊ณ ์ฃผํ ์์ ๋ฐ ์ ์ธ์ ๊ฐ์ง๊ธฐ์ ๊ฐ์ ์ผ๋ถ ํน์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
๊ฒ๋ฅด๋ง๋์ ์ฅ์ :
- ๋์ ์ ์ ๋ฐ ์ ๊ณต ์ด๋๋: ๊ฒ๋ฅด๋ง๋์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ์ ์ ๋ฐ ์ ๊ณต ์ด๋๋๊ฐ ๋์ ๊ณ ์ ์์์ ์ ํฉํฉ๋๋ค.
๊ฒ๋ฅด๋ง๋์ ๋จ์ :
- ๋ฎ์ ๋ฐด๋๊ฐญ: ๊ฒ๋ฅด๋ง๋์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ๋ฐด๋๊ฐญ์ด ๋ฎ์ ์์จ์์ ๋์ค ์ ๋ฅ๊ฐ ๋ ๋์ต๋๋ค.
- ๋์ ๋น์ฉ: ๊ฒ๋ฅด๋ง๋์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ๋น์๋๋ค.
- ์ด ๋ถ์์ ์ฑ: ๊ณ ์จ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ์์ ์ฑ์ด ๋จ์ด์ง๋๋ค.
๊ฐ๋ฅจ ๋น์ (GaAs)
๊ฐ๋ฅจ ๋น์๋ ํน์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ์ฐ์ํ ์ฑ๋ฅ์ ์ ๊ณตํ๋ ํํฉ๋ฌผ ๋ฐ๋์ฒด์ ๋๋ค. ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ์ ์ ์ด๋๋๊ฐ ๋๊ณ ์ง์ ๋ฐด๋๊ฐญ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ด ๊ณ ์ฃผํ ์์, ๊ด์ ์ ์์(์: LED, ๋ ์ด์ ) ๋ฐ ํ์ ์ ์ง์ ์ ํฉํฉ๋๋ค.
๊ฐ๋ฅจ ๋น์์ ์ฅ์ :
- ๋์ ์ ์ ์ด๋๋: GaAs๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ์ ์ ์ด๋๋๊ฐ ํจ์ฌ ๋์ ๋ ๋น ๋ฅธ ์์๋ฅผ ๊ฐ๋ฅํ๊ฒ ํฉ๋๋ค.
- ์ง์ ๋ฐด๋๊ฐญ: GaAs๋ ์ง์ ๋ฐด๋๊ฐญ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ด ๊ด์ ์ ์์ฉ์ ํจ์จ์ ์ ๋๋ค.
- ๋ฐ์ ์ฐ์ฑ ๊ธฐํ: GaAs ๊ธฐํ์ ๋ฐ์ ์ฐ์ฑ์ผ๋ก ๋ง๋ค ์ ์์ด ๊ณ ์ฃผํ ํ๋ก์ ๊ธฐ์ ์ฉ๋์ ์ค์ฌ์ค๋๋ค.
๊ฐ๋ฅจ ๋น์์ ๋จ์ :
- ๋์ ๋น์ฉ: GaAs๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ๋น์๋๋ค.
- ๋ฎ์ ์ ๊ณต ์ด๋๋: GaAs๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ์ ๊ณต ์ด๋๋๊ฐ ๋ฎ์ต๋๋ค.
- ์ทจ์ฑ: GaAs๋ ์ค๋ฆฌ์ฝ๋ณด๋ค ๋ ๋ถ์์ง๊ธฐ ์ฝ๊ณ ๊ฐ๊ณตํ๊ธฐ ์ด๋ ต์ต๋๋ค.
- ๋ ์ฑ: ๋น์๋ ๋ ์ฑ์ด ์์ด ํ๊ฒฝ ๋ฐ ์์ ๋ฌธ์ ๋ฅผ ์ผ๊ธฐํฉ๋๋ค.
๊ธฐํ ํํฉ๋ฌผ ๋ฐ๋์ฒด
๊ฐ๋ฅจ ๋น์ ์ธ์๋ ๋ค๋ฅธ ํํฉ๋ฌผ ๋ฐ๋์ฒด๋ค์ด ํน์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ฌ๊ธฐ์๋ ๋ค์์ด ํฌํจ๋ฉ๋๋ค:
- ์ธํ ์ธ๋ (InP): ๊ณ ์ ๊ด์ ์ ์์ ๋ฐ ๊ณ ์ฃผํ ํ๋ก์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ์งํ ๊ฐ๋ฅจ (GaN): ๊ณ ์ถ๋ ฅ ๋ฐ ๊ณ ์ฃผํ ์์๋ฟ๋ง ์๋๋ผ LED ๋ฐ ๋ ์ด์ ์๋ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ํํ ๊ท์ (SiC): ๊ณ ์ถ๋ ฅ ๋ฐ ๊ณ ์จ ์์์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- ์์-์นด๋๋ฎด-ํ ๋ฃจ๋ผ์ด๋ (HgCdTe): ์ ์ธ์ ๊ฐ์ง๊ธฐ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ ๊ณต์ : ์จ์ดํผ์์ ์นฉ๊น์ง
๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์จ์ดํผ๋ฅผ ๊ธฐ๋ฅ์ ์ธ ์ง์ ํ๋ก๋ก ๋ณํํ๋ ๋ณต์กํ๊ณ ๋ค๋จ๊ณ์ ๊ณต์ ์ ๋๋ค. ์ฃผ์ ๋จ๊ณ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค:
์จ์ดํผ ์ค๋น
๊ณต์ ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ดํฌ๋์คํค ๊ณต๋ฒ์ด๋ ํ๋กํธ ์กด ๊ณต๋ฒ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๋จ๊ฒฐ์ ๋ฐ๋์ฒด ์๊ณณ์ ์ฑ์ฅ์ํค๋ ๊ฒ์ผ๋ก ์์๋ฉ๋๋ค. ๊ทธ๋ฐ ๋ค์ ์๊ณณ์ ์์ ์จ์ดํผ๋ก ์ ๋จํ๊ณ , ์ด๋ฅผ ์ฐ๋งํ์ฌ ๋งค๋๋ฝ๊ณ ๊ฒฐํจ ์๋ ํ๋ฉด์ ๋ง๋ญ๋๋ค.
ํฌํ ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ
ํฌํ ๋ฆฌ์๊ทธ๋ํผ๋ ํจํด์ ์จ์ดํผ์ ์ ์ฌํ๋ ์ค์ํ ๋จ๊ณ์ ๋๋ค. ์จ์ดํผ๋ ๋น์ ๋ฏผ๊ฐํ ๋ฌผ์ง์ธ ํฌํ ๋ ์ง์คํธ๋ก ์ฝํ ๋ฉ๋๋ค. ์ํ๋ ํจํด์ด ๋ด๊ธด ๋ง์คํฌ๋ฅผ ์จ์ดํผ ์์ ๋๊ณ ์์ธ์ ์ ๋ ธ์ถ์ํต๋๋ค. ๋ ธ์ถ๋ ์์ญ์ ํฌํ ๋ ์ง์คํธ๋ ์ ๊ฑฐ๋๊ฑฐ๋(์์ฑ ํฌํ ๋ ์ง์คํธ) ๋จ๊ฒ ๋์ด(์์ฑ ํฌํ ๋ ์ง์คํธ) ์จ์ดํผ ์์ ํจํดํ๋ ์ธต์ ๋ง๋ญ๋๋ค.
์๊ฐ
์๊ฐ์ ํฌํ ๋ ์ง์คํธ๋ก ๋ณดํธ๋์ง ์์ ์์ญ์ ์จ์ดํผ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์๊ฐ์๋ ์ต์ ์๊ฐ๊ณผ ๊ฑด์ ์๊ฐ์ ๋ ๊ฐ์ง ์ฃผ์ ์ ํ์ด ์์ต๋๋ค. ์ต์ ์๊ฐ์ ํํ ์ฉ์ก์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ ๊ฑฐํ๋ ๋ฐ๋ฉด, ๊ฑด์ ์๊ฐ์ ํ๋ผ์ฆ๋ง๋ฅผ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ ๊ฑฐํฉ๋๋ค.
๋ํ
๋ํ์ ๋ฐ๋์ฒด ์ฌ๋ฃ์ ์ ๊ธฐ ์ ๋๋๋ฅผ ๋ณ๊ฒฝํ๊ธฐ ์ํด ๋ถ์๋ฌผ์ ์ฃผ์ ํ๋ ๊ณต์ ์ ๋๋ค. ๋ ๊ฐ์ง ์ฃผ์ ๋ํ ์ ํ์ nํ ๋ํ(์ธ์ด๋ ๋น์์ ๊ฐ์ด ์์๊ฐ ์ ์๊ฐ ๋ ๋ง์ ์์ ์ฃผ์ )๊ณผ pํ ๋ํ(๋ถ์๋ ๊ฐ๋ฅจ๊ณผ ๊ฐ์ด ์์๊ฐ ์ ์๊ฐ ๋ ์ ์ ์์ ์ฃผ์ )์ ๋๋ค. ๋ํ์ ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์ด์จ ์ฃผ์ ์ด๋ ํ์ฐ์ ํตํด ์ด๋ฃจ์ด์ง๋๋ค.
๋ฐ๋ง ์ฆ์ฐฉ
๋ฐ๋ง ์ฆ์ฐฉ์ ์จ์ดํผ ์์ ๋ค์ํ ์ฌ๋ฃ์ ์์ ์ธต์ ์ฆ์ฐฉํ๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ฆ์ฐฉ ๊ธฐ์ ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค:
- ํํ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ (CVD): ์จ์ดํผ ํ๋ฉด์์ ํํ ๋ฐ์์ด ์ผ์ด๋ ๋ฐ๋ง์ ์ฆ์ฐฉํฉ๋๋ค.
- ๋ฌผ๋ฆฌ ๊ธฐ์ ์ฆ์ฐฉ (PVD): ํ๊ฒ์์ ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ์ฆ๋ฐ์ํค๊ฑฐ๋ ์คํผํฐ๋งํ์ฌ ์จ์ดํผ ์์ ์ฆ์ฐฉํฉ๋๋ค.
- ์์์ธต ์ฆ์ฐฉ (ALD): ๋ฐ๋ง์ ํ ์ธต์ฉ ์ฆ์ฐฉํ์ฌ ๋ง์ ๋๊ป์ ๊ตฌ์ฑ์ ์ ๋ฐํ๊ฒ ์ ์ดํ ์ ์์ต๋๋ค.
๊ธ์ ๋ฐฐ์ ๊ณต์
๊ธ์ ๋ฐฐ์ ๊ณต์ ์ ํ๋ก์ ๋ค๋ฅธ ๋ถ๋ถ๋ค ์ฌ์ด์ ์ ๊ธฐ์ ์ฐ๊ฒฐ์ ๋ง๋๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค. ์ผ๋ฐ์ ์ผ๋ก ์๋ฃจ๋ฏธ๋์ด๋ ๊ตฌ๋ฆฌ ๊ฐ์ ๊ธ์์ธต์ ์ฆ์ฐฉํ๊ณ ํจํด์ ํ์ฑํ์ฌ ์ํธ ์ฐ๊ฒฐ์ ๋ง๋ญ๋๋ค.
ํ ์คํธ ๋ฐ ํจํค์ง
์ ์กฐ ํ ์จ์ดํผ๋ ํ๋ก๊ฐ ์ฌ๋ฐ๋ฅด๊ฒ ์๋ํ๋์ง ํ์ธํ๊ธฐ ์ํด ํ ์คํธ๋ฅผ ๊ฑฐ์นฉ๋๋ค. ๋ถ๋ ํ๋ก๋ ํ๊ธฐ๋ฉ๋๋ค. ๊ทธ๋ฐ ๋ค์ ๊ธฐ๋ฅ์ ์ธ ํ๋ก๋ฅผ ์จ์ดํผ์์ ๋ถ๋ฆฌ(๋ค์ด์ฑ)ํ๊ณ ๊ฐ๋ณ ์นฉ์ผ๋ก ํจํค์งํฉ๋๋ค. ํจํค์ง์ ์นฉ์ ์ธ๋ถ ํ๊ฒฝ์ผ๋ก๋ถํฐ ๋ณดํธํ๊ณ ์ธ๋ถ ์ธ๊ณ์์ ์ ๊ธฐ์ ์ฐ๊ฒฐ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
ํต์ฌ ๋ฐ๋์ฒด ์์
๋ค์ด์ค๋
๋ค์ด์ค๋๋ ์ฃผ๋ก ํ ๋ฐฉํฅ์ผ๋ก๋ง ์ ๋ฅ๋ฅผ ์ ๋ํ๋ 2๋จ์ ์ ์ ๋ถํ์ ๋๋ค. ๋ค์ด์ค๋๋ ์ ๋ฅ๊ธฐ, ์ ์ ์กฐ์ ๊ธฐ ๋ฐ ์ค์์น์ ๊ฐ์ ๋ค์ํ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
ํธ๋์ง์คํฐ
ํธ๋์ง์คํฐ๋ ์ค์์น๋ ์ฆํญ๊ธฐ๋ก ์ฌ์ฉํ ์ ์๋ 3๋จ์ ์ ์ ๋ถํ์ ๋๋ค. ๋ ๊ฐ์ง ์ฃผ์ ํธ๋์ง์คํฐ ์ ํ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค:
- ์๊ทน์ฑ ์ ํฉ ํธ๋์ง์คํฐ (BJT): BJT๋ ์ ์์ ์ ๊ณต์ ๋ชจ๋ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ ๋ฅ๋ฅผ ์ ๋ํฉ๋๋ค.
- ์ ๊ณ ํจ๊ณผ ํธ๋์ง์คํฐ (FET): FET๋ ์ ๊ธฐ์ฅ์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ์ ๋ฅ ํ๋ฆ์ ์ ์ดํฉ๋๋ค. ๊ฐ์ฅ ์ผ๋ฐ์ ์ธ ์ ํ์ FET๋ ๊ธ์-์ฐํ๋ฌผ-๋ฐ๋์ฒด ์ ๊ณ ํจ๊ณผ ํธ๋์ง์คํฐ (MOSFET)์ ๋๋ค.
MOSFET์ ํ๋ ๋์งํธ ํ๋ก์ ํต์ฌ ๋ถํ์ ๋๋ค. ๋ง์ดํฌ๋กํ๋ก์ธ์์์ ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์นฉ์ ์ด๋ฅด๊ธฐ๊น์ง ๋ชจ๋ ๊ณณ์ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
์ง์ ํ๋ก (IC)
๋ง์ดํฌ๋ก์นฉ ๋๋ ์นฉ์ผ๋ก๋ ์๋ ค์ง ์ง์ ํ๋ก(IC)๋ ๋จ์ผ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐํ ์์ ํธ๋์ง์คํฐ, ๋ค์ด์ค๋, ์ ํญ๊ธฐ ๋ฐ ์ปคํจ์ํฐ์ ๊ฐ์ ๋ง์ ๋ถํ์ด ์ ์๋ ์ํํ๋ ์ ์ ํ๋ก์ ๋๋ค. IC๋ ์์ ํผ ํฉํฐ์์ ๋ณต์กํ ์ ์ ์์คํ ์ ๋ง๋ค ์ ์๊ฒ ํด์ค๋๋ค.
๋ฌด์ด์ ๋ฒ์น๊ณผ ์ค์ผ์ผ๋ง
1965๋ ๊ณ ๋ ๋ฌด์ด๊ฐ ์ ์ํ ๋ฌด์ด์ ๋ฒ์น์ ๋ง์ดํฌ๋ก์นฉ์ ํธ๋์ง์คํฐ ์๊ฐ ์ฝ 2๋ ๋ง๋ค ๋ ๋ฐฐ๋ก ์ฆ๊ฐํ๋ค๊ณ ๋งํฉ๋๋ค. ์ด๋ก ์ธํด ์ง๋ ์์ญ ๋ ๋์ ์ ์ ๊ธฐ๊ธฐ์ ์ฑ๋ฅ๊ณผ ๊ธฐ๋ฅ์ด ๊ทน์ ์ผ๋ก ํฅ์๋์์ต๋๋ค. ๊ทธ๋ฌ๋ ํธ๋์ง์คํฐ๊ฐ ์ ์ ์์์ง๋ฉด์ ๋ฌด์ด์ ๋ฒ์น์ ์ ์งํ๊ธฐ๊ฐ ์ ์ ๋ ์ด๋ ค์์ง๊ณ ์์ต๋๋ค. ๊ณผ์ ๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค:
- ์์ ํจ๊ณผ: ๋งค์ฐ ์์ ์ฐจ์์์๋ ์์ ํจ๊ณผ๊ฐ ์ค์ํด์ ธ ์์ ์ฑ๋ฅ์ ์ํฅ์ ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
- ์ ๋ ฅ ์๋ชจ: ํธ๋์ง์คํฐ ๋ฐ๋๊ฐ ๋์์ง์ ๋ฐ๋ผ ์ ๋ ฅ ์๋ชจ๊ฐ ์ฆ๊ฐํ์ฌ ๊ณผ์ด ๋ฌธ์ ๊ฐ ๋ฐ์ํฉ๋๋ค.
- ์ ์กฐ ๋ณต์ก์ฑ: ๋ ์์ ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ์ ์กฐํ๋ ค๋ฉด ๋ ๋ณต์กํ๊ณ ๋น์ผ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ด ํ์ํฉ๋๋ค.
์ด๋ฌํ ์ด๋ ค์์๋ ๋ถ๊ตฌํ๊ณ ์ฐ๊ตฌ์๊ณผ ์์ง๋์ด๋ค์ ํธ๋์ง์คํฐ ํฌ๊ธฐ๋ฅผ ๊ณ์ ์ถ์ํ๊ณ ์์ ์ฑ๋ฅ์ ํฅ์์ํค๊ธฐ ์ํด ๋์์์ด ์๋ก์ด ์ฌ๋ฃ์ ์ ์กฐ ๊ธฐ์ ์ ๊ฐ๋ฐํ๊ณ ์์ต๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ์๋ก์ด ๋ํฅ
์ ์์ฌ
์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ๋ฐ๋์ฒด ์์์์ ์ค๋ฆฌ์ฝ์ ๋์ฒดํ๊ฑฐ๋ ๋ณด์ํ ์๋ก์ด ์ฌ๋ฃ๋ฅผ ํ์ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ฌ๊ธฐ์๋ ๋ค์์ด ํฌํจ๋ฉ๋๋ค:
- 2์ฐจ์ ์ฌ๋ฃ: ๊ทธ๋ํ ๋ฐ ์ดํฉํ ๋ชฐ๋ฆฌ๋ธ๋ด(MoS2)๊ณผ ๊ฐ์ ์ฌ๋ฃ๋ ๋ ํนํ ์ ์ ํน์ฑ์ ์ ๊ณตํ๋ฉฐ ์ด๋ฐํ ํธ๋์ง์คํฐ ๋ฐ ๊ธฐํ ์์๋ฅผ ๋ง๋๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ ์ ์์ต๋๋ค.
- ๊ณ ์ ์ ์จ(High-k) ์ ์ ์ฒด: ์ด์ฐํ๊ท์๋ณด๋ค ์ ์ ์์๊ฐ ๋์ ์ฌ๋ฃ๋ MOSFET์ ๋์ค ์ ๋ฅ๋ฅผ ์ค์ด๋ ๋ฐ ์ฌ์ฉ๋ฉ๋๋ค.
- III-V์กฑ ๋ฐ๋์ฒด: GaN ๋ฐ InP์ ๊ฐ์ ํํฉ๋ฌผ ๋ฐ๋์ฒด๋ ๊ณ ์ฃผํ ๋ฐ ๊ณ ์ถ๋ ฅ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ์ฌ์ฉ๋๊ณ ์์ต๋๋ค.
3D ํตํฉ
3D ํตํฉ์ ์ฌ๋ฌ ์ธต์ ๋ฐ๋์ฒด ์์๋ฅผ ์๋ก ๊ฒน์ณ ์์ ์ง์ ํ๋ก์ ๋ฐ๋์ ์ฑ๋ฅ์ ๋์ด๋ ๊ธฐ์ ์ ๋๋ค. ์ด ๊ธฐ์ ์ ๋ ์งง์ ์ํธ ์ฐ๊ฒฐ ๊ธธ์ด, ๋ฎ์ ์ ๋ ฅ ์๋น, ์ฆ๊ฐ๋ ๋์ญํญ ๋ฑ ์ฌ๋ฌ ๊ฐ์ง ์ฅ์ ์ ์ ๊ณตํฉ๋๋ค.
๋ด๋ก๋ชจํฝ ์ปดํจํ
๋ด๋ก๋ชจํฝ ์ปดํจํ ์ ์ธ๊ฐ ๋๋์ ๊ตฌ์กฐ์ ๊ธฐ๋ฅ์ ๋ชจ๋ฐฉํ์ฌ ๋ ํจ์จ์ ์ด๊ณ ๊ฐ๋ ฅํ ์ปดํจํฐ๋ฅผ ๋ง๋๋ ๊ฒ์ ๋ชฉํ๋ก ํฉ๋๋ค. ์ด ์ ๊ทผ ๋ฐฉ์์ ๋ณ๋ ฌ ์ฒ๋ฆฌ๋ฅผ ์ํํ๊ณ ๋ฐ์ดํฐ๋ก๋ถํฐ ํ์ตํ ์ ์๋ ์๋ก์ด ์ ํ์ ์ ์ ์์ ๋ฐ ์ํคํ ์ฒ๋ฅผ ์ฌ์ฉํ๋ ๊ฒ์ ํฌํจํฉ๋๋ค.
์์ ์ปดํจํ
์์ ์ปดํจํ ์ ์ค์ฒฉ ๋ฐ ์ฝํ๊ณผ ๊ฐ์ ์์์ญํ์ ํ์์ ์ฌ์ฉํ์ฌ ๊ธฐ์กด ์ปดํจํฐ๋ก๋ ๋ถ๊ฐ๋ฅํ ๊ณ์ฐ์ ์ํํฉ๋๋ค. ์์ ์ปดํจํฐ๋ ์ ์ฝ ๊ฐ๋ฐ, ์ฌ๋ฃ ๊ณผํ ๋ฐ ์ํธํ๊ณผ ๊ฐ์ ๋ถ์ผ์ ํ๋ช ์ ์ผ์ผํฌ ์ ์ฌ๋ ฅ์ ๊ฐ์ง๊ณ ์์ต๋๋ค.
๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์
๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ์ ์ธ๊ณ ์ฌ๋ฌ ๊ตญ๊ฐ์ ์ฃผ์ ๊ธฐ์ ๋ค์ด ์์นํ ๊ธ๋ก๋ฒ ์ฐ์ ์ ๋๋ค. ์ฃผ์ ์ง์ญ์ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ต๋๋ค:
- ๋ฏธ๊ตญ: ์ธํ , AMD, ํ์ปด์ ํฌํจํ ์ธ๊ณ ์ ์์ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ๋ค์ด ๋ง์ด ์์ต๋๋ค.
- ๋๋ง: TSMC์ UMC ๊ฐ์ ๊ธฐ์ ๋ค์ด ํ์ด๋๋ฆฌ ์์ฅ์ ์ฅ์ ํ๊ณ ์๋ ๋ฐ๋์ฒด ์ ์กฐ์ ์ฃผ์ ํ๋ธ์ ๋๋ค.
- ๋ํ๋ฏผ๊ตญ: ๋ฉ๋ชจ๋ฆฌ ์นฉ ๋ฐ ๊ธฐํ ๋ฐ๋์ฒด ์์์ ์ ๋ ์ ์กฐ์ ์ฒด์ธ ์ผ์ฑ๊ณผ SK ํ์ด๋์ค์ ๋ณธ๊ฑฐ์ง์ ๋๋ค.
- ์ค๊ตญ: ๊ตญ๋ด ์ ์กฐ ์ญ๋์ ๋ํ ํฌ์๊ฐ ์ฆ๊ฐํ๋ฉด์ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์ฑ์ฅํ๋ ๋ฐ๋์ฒด ์์ฅ์ ๋๋ค.
- ์ผ๋ณธ: ๋ฅด๋ค์ฌ์ค ์ผ๋ ํธ๋ก๋์ค์ ๋์๋ฐ์ ๊ฐ์ ๊ธฐ์ ๋ค์ด ์์ผ๋ฉฐ, ์ด๋ค์ ์๋์ฐจ์ฉ ๋ฐ๋์ฒด ๋ฐ ๊ธฐํ ์ ์ ๋ถํ์ ์ ๋ฌธ์ผ๋ก ํฉ๋๋ค.
- ์ ๋ฝ: ์ธํผ๋์ธ๊ณผ NXP์ ๊ฐ์ ๊ธฐ์ ๋ค์ด ์์ผ๋ฉฐ, ์๋์ฐจ, ์ฐ์ ๋ฐ ๋ณด์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ์ค์ ์ ๋ก๋๋ค.
๊ธ๋ก๋ฒ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๊ฒฝ์์ด ๋งค์ฐ ์น์ดํ๋ฉฐ, ๊ธฐ์ ๋ค์ ์๋ก์ด ์ฌ๋ฃ, ์์ ๋ฐ ์ ์กฐ ๊ณต์ ์ ๊ฐ๋ฐํ๊ธฐ ์ํด ๋์์์ด ํ์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ์ ๋ถ ์ ์ฑ , ๋ฌด์ญ ํ์ ๋ฐ ์ง์ ํ์ ์์ธ ๋ํ ์ฐ์ ์งํ์ ํ์ฑํ๋ ๋ฐ ์ค์ํ ์ญํ ์ ํฉ๋๋ค.
๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ๋ฏธ๋
๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ๋ ๋น ๋ฅด๊ณ , ๋ ์๊ณ , ๋ ์๋์ง ํจ์จ์ ์ธ ์ ์ ๊ธฐ๊ธฐ์ ๋ํ ๋์์์ด ์ฆ๊ฐํ๋ ์์์ ์ํด ์ง์์ ์ผ๋ก ๋ฐ์ ํ๊ณ ์์ต๋๋ค. ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ๋ฏธ๋๋ ๋ค์๊ณผ ๊ฐ์ ๋ด์ฉ์ ํฌํจํ ๊ฐ๋ฅ์ฑ์ด ๋์ต๋๋ค:
- ์ง์์ ์ธ ์ค์ผ์ผ๋ง: ์ฐ๊ตฌ์๋ค์ ๋ ์๊ณ ๊ฐ๋ ฅํ ํธ๋์ง์คํฐ๋ฅผ ๋ง๋ค๊ธฐ ์ํด ์๋ก์ด ์ฌ๋ฃ์ ์ ์กฐ ๊ธฐ์ ์ ํ์ํ๋ฉฐ ์ํํ์ ํ๊ณ๋ฅผ ๊ณ์ํด์ ๋ฐ์ด๋ถ์ผ ๊ฒ์ ๋๋ค.
- ๋ ์ ๋ฌธํ๋ ์์: ๋ฐ๋์ฒด ์์๋ ์ธ๊ณต ์ง๋ฅ, ์ฌ๋ฌผ ์ธํฐ๋ท(IoT), ์๋์ฐจ ์ ์๊ณตํ๊ณผ ๊ฐ์ ํน์ ์์ฉ ๋ถ์ผ์ ์ ์ ๋ ์ ๋ฌธํ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
- ๋ ํฐ ํตํฉ: 3D ํตํฉ ๋ฐ ๊ธฐํ ๊ณ ๊ธ ํจํค์ง ๊ธฐ์ ์ ๋ ๋ณต์กํ๊ณ ํตํฉ๋ ์์คํ ์ ๋ง๋ค ์ ์๊ฒ ํ ๊ฒ์ ๋๋ค.
- ์ง์ ๊ฐ๋ฅํ ์ ์กฐ: ํ๊ฒฝ ์ํฅ์ ์ค์ด๊ณ ์ง์ ๊ฐ๋ฅํ ์ ์กฐ ๊ดํ์ ์ด์งํ๋ ๋ฐ ์ค์ ์ ๋ ๊ฒ์ ๋๋ค.
์ ์ ์ฌ๋ฃ์ ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ๊ธฐ๋ณธ ์๋ฆฌ๋ฅผ ์ดํดํจ์ผ๋ก์จ ๊ฐ์ธ๊ณผ ์กฐ์ง์ ์ด ์ญ๋์ ์ด๊ณ ๋น ๋ฅด๊ฒ ์งํํ๋ ๋ถ์ผ์ ๋์ ๊ณผ ๊ธฐํ๋ฅผ ํค์ณ ๋๊ฐ ๋ ๋์ ์์น์ ์ค ์ ์์ต๋๋ค.
๊ฒฐ๋ก
๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ ์ ํ๋ ์ฌํ์ ์ค์ํ ๋๋ ฅ์ด๋ฉฐ, ์๋ง์ ์ ์ ๊ธฐ๊ธฐ์ ์์คํ ์ ๊ธฐ๋ฐ์ด ๋ฉ๋๋ค. ์ฐ๋ฆฌ๊ฐ ์ ์ ๋ ๋์งํธํ๋ ์ธ๊ณ๋ก ๋์๊ฐ๋ฉด์ ๋ฐ๋์ฒด์ ์ค์์ฑ์ ๊ณ์ํด์ ์ปค์ง ๊ฒ์ ๋๋ค. ์ด ๊ฐ์ด๋๋ ์ ์ ์ฌ๋ฃ์ ๋ํ ํฌ๊ด์ ์ธ ๊ฐ์๋ฅผ ์ ๊ณตํ์ผ๋ฉฐ, ๋ฐ๋์ฒด ๊ธฐ์ , ํต์ฌ ์ฌ๋ฃ, ์ ์กฐ ๊ณต์ ๋ฐ ๋ฏธ๋ ๋ํฅ์ ์ค์ ์ ๋์์ต๋๋ค. ์ด๋ฌํ ๊ธฐ๋ณธ ๊ฐ๋ ์ ์ดํดํจ์ผ๋ก์จ ๋ ์๋ค์ ๋ฐ๋์ฒด ์ฐ์ ์ ๋ณต์ก์ฑ๊ณผ ๊ณผ์ , ๊ทธ๋ฆฌ๊ณ ๊ทธ๊ฒ์ด ์ธ๊ณ ๊ฒฝ์ ์ ๋ฏธ์น๋ ์ํฅ์ ๋ํด ๋ ๊น์ด ์ดํดํ ์ ์์ต๋๋ค.